幾大系列：功能材料電學(xué)綜合測試系統(tǒng)、絕緣診斷測試系統(tǒng)、高低溫介電溫譜測試儀、極化裝置與電源、高壓放大器、PVDV薄膜極化、高低溫冷熱臺、鐵電壓電熱釋電測試儀、絕緣材料電學(xué)性能綜合測試平臺、電擊穿強(qiáng)度試驗儀、耐電弧試驗儀、高壓漏電起痕測試儀、儲能材料電學(xué)測控系統(tǒng)、壓電傳感器測控系統(tǒng)等

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雙光束激光干涉儀專門用于壓電薄膜的蝴蝶曲線和縱向壓電系數(shù)d33的測試。適合于從小尺寸薄膜到8英寸晶圓表征的雙光束激光干涉儀。半自動的系統(tǒng)用于8"晶圓上的MEMS器件的壓電性和電性相關(guān)性能的測試。大量樣品測試的重復(fù)精度可達(dá)2%以上。

雙光束激光干涉儀產(chǎn)品詳情

雙光束激光干涉儀

雙光束激光干涉儀專門用于壓電薄膜的蝴蝶曲線和縱向壓電系數(shù)d33的測試。
適合于從小尺寸薄膜到8英寸晶圓表征的雙光束激光干涉儀。
半自動的系統(tǒng)用于8"晶圓上的MEMS器件的壓電性和電性相關(guān)性能的測試。
大量樣品測試的重復(fù)精度可達(dá)2%以上。

測試功能：
機(jī)電大信號應(yīng)變、極化、壓電系數(shù)、小信號介電常數(shù)。
疲勞和電性及機(jī)械性能可靠性。

樣品測試：
極化曲線和位移曲線。
小信號電容及壓電系數(shù)。

技術(shù)參數(shù)：
分辨率： ≤1 pm（X晶向的石英）
測量范圍：5pm- +/- 25nm
波長：632.8nm
位移/應(yīng)力測試：>50Hz，zui小1Hz分辨率，100mV到10V（可選到200V）
壓電d33系數(shù)：
基電壓100mV到10V（1mHz到1Hz），可選到200V
小信號100mV到10V（1kHz到5kHz）
C-V測試：
基電壓100mV到10V（1mHz到1Hz），可選到200V
小信號100mV到10V（1kHz到5kHz）

關(guān)鍵詞：激光干涉儀

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產(chǎn)品名稱	參考價	地區(qū)	公司名稱	更新時間
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prometec PD2000	面議	上海市	希而科工業(yè)控制設(shè)備（上海）有限公司	2021-03-10	在線詢價
平臺式邁克爾遜干涉儀型號：UKMG-1	面議	北京市	北京中慧天誠科技有限公司	2017-06-28	在線詢價

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