產(chǎn)品簡介:PCE-8等離子清洗機是一款較大型的等離子清洗機,等離子腔體為 ?8.5"×12"的石英腔體,采用的射頻電源功率0- 100W連續(xù)可調(diào)節(jié),采用的射頻為13.56MHz。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等),對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。在單晶材料外延薄膜生長以前對其進行預處理,將對生長具有顯著的作用。PCE-8等離子清洗機配有一個直連式雙旋真空泵,可對腔體進行抽真空,同時通入氬氣等保護氣體,適用于對易氧化的物品的清洗。
產(chǎn)品型號 | PCE-8等離子清洗機 |
主要特點 | 1、采用6"彩色觸摸屏,可控制射頻功率、清洗時間、氣體流量、真空泵的開啟等。 2、內(nèi)部配有0-500mm/min的質(zhì)量流量計,可以精確地控制進氣流量。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、電源:AC220V 2、射頻功率:100W,可在0-100W間調(diào)節(jié) 3、真空泵功率:<> 4、總功率:<> 5、射頻:13.56MHz 6、等離子腔體:高純石英腔體,外徑?8.5",內(nèi)徑?8.2",長12",采用鋁制折疊式法蘭進行真空密封,法 蘭設(shè)有一個?60mm的觀察窗口 7、極限真空度:50mtorr 8、通入氣體:可通入多種氣體,如N2、Ar、Air、H2、O2和混合氣體等等(根據(jù)材料性質(zhì)所定) |
清洗及蝕刻 | ![]() |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:620mm×450mm×600mm |
標準配件 | 1、直連式雙旋真空泵(240L/min) 2、KF25波紋管 3、KF25手動擋板閥 |
可選配件 | 1、300W、600W射頻電源(進行等離子刻蝕和等離子灰化等實驗) 2、2"-6"石英舟(盛放基片) 3、2-4通道浮子混氣系統(tǒng) 4、2-4通道質(zhì)子混氣系統(tǒng) |





































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