矽翔微機(jī)電系統(tǒng)有限公司（矽翔公司，Siargo Ltd. ）成立于2003年，公司總部位于美國(guó)加州硅谷。矽翔公司是目前世界*生產(chǎn)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、低功耗、超大量程MEMS氣體流量計(jì)并使之產(chǎn)品化的廠(chǎng)商。其核心部件一MEMS流量芯片及其封裝技術(shù)由公司自主研發(fā)，可用于各類(lèi)氣體及微流體的流量計(jì)量和測(cè)控，為傳統(tǒng)的流體計(jì)量帶來(lái)了根本性變革，提供了全新的拓展空間。 

    矽翔公司基于MEMS 技術(shù)的流量芯片廣泛應(yīng)用于醫(yī)療麻醉與呼吸設(shè)備，工業(yè)制造業(yè)用氣測(cè)量及過(guò)程控制，環(huán)保等多個(gè)領(lǐng)域；在醫(yī)院中心供氧、制氧設(shè)備、分床計(jì)費(fèi)系統(tǒng)，食品加工，科學(xué)氣體分析儀器，樓宇自控，民用健身、保健設(shè)備等領(lǐng)域也有廣泛的應(yīng)用；在全新的燃料電池等*科技領(lǐng)域亦有不可替代的應(yīng)用。 目前，產(chǎn)品已銷(xiāo)售到美國(guó)、日本、歐洲、南美、大洋洲、東南亞等多個(gè)國(guó)家和地區(qū)。

        矽翔公司是GB/T 20727-2006《熱式質(zhì)量流量計(jì)》起草單位之一。