NexION 5000是業(yè)界一款多重四極桿ICP-MS，由四組四極桿組成。其創(chuàng)新設計達到和超過如半導體、生物監(jiān)測和其他應用領域嚴苛的痕量和超痕量元素檢測要求。NexION 5000性能超越了傳統(tǒng)的三重四極桿技術，提供極低的背景等效濃度（在高溫熱等離子字體中，BECs<1 ppt）和出色的檢測極限，確保了結果的精度和可重現(xiàn)性。NexION 5000 ICP-MS具有：

t的干擾消除能力

t出色的背景等效濃度(BECs)

t很高的基體耐受性

t符合SEMI S2/S8法規(guī)和安規(guī)要求

NexION 5000 ICP-MS配備了一系列新型專有技術，其性能超越了傳統(tǒng)的三重四極桿技術，重新定義了您的期望值：

?四組四極桿：

?組

四極桿離子偏轉器（Q0，Quadrupole Ion Deflector）是一個基于離子能量的靜電質量分析器，對離子進行動態(tài)聚焦和質量篩選，同時把離子偏轉90度以實現(xiàn)與中性成分和光子分離，導入下一級四極桿

?第二組

為個四極桿質量分析器（Q1，Transmission Analyzer Quadrupole），用作質量分析器或將離子引導至四極桿通用池。它包含長預四極桿，可獲得更好的高能離子聚焦，從而具有單位質量或更好的質量分辨，分辨率 < 0.3 amu

?第三組

為四極桿通用池（Q2，Universal Cell Technology），是市場上一款由四極桿構成的池技術，具有動態(tài)帶寬質量調諧能力（從而可以對反應進行有效的控制），標配軸向場技術（從而可以使用任何所需的氣體），既可以作為離子聚焦加速的離子通道，又可以作為特定離子的質量選擇器，抑制池內副反應的產生，確保所需反應的*，從而*消除干擾。

?第四組

為第二個四極桿質量分析器（Q3，Transmission Analyzer Quadrupole），用作質量分析器或將離子引導至檢測器。具有單位質量或更好的質量分辨，分辨率 < 0.3 amu

?PE電子稀釋技術（EDR）擴展動態(tài)線性范圍至1012，允許在一次運行中，同時分析高低濃度元素，減少重復運行

?極低的維護實現(xiàn)長時間運行：

?第二代帶OmniRig™的三錐接口（TCI）技術與四極桿離子偏轉器（QID）相結合，從而實現(xiàn)錐后無需維護，保證儀器長時間運行和出色的穩(wěn)定性

?34 MHz自激式RF發(fā)生器提供免故障的客戶體驗——PE的LumiCoil™ RF工作線圈產生等離子體，它只需空氣冷卻（無需水冷或氣冷），從而無需維護且無需更換

?通過外部狀態(tài)指示燈，可輕易得知分析狀態(tài)，提高了效率

?Syngistix™軟件（v. 3.0或更高版本）將多重四極桿的性能與充滿現(xiàn)代感的用戶界面整合，實現(xiàn)用戶友好的工作流程操作

?可升級SEMI S2/S8認證（應急按鈕），從而符合半導體超凈間設施集成要求