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| 功能說明: | |||||||||
| ● 配氣精度高(可達(dá)±0.5%),并且線性誤差小; ● 配氣操作簡便,配氣效率高; ● 配氣重復(fù)性好,不受人為因素干擾; ● 所配氣體均勻性好,可立即使用; ● 因使用質(zhì)量流量控制器控制流量,在氣體壓力、溫度變化的情況下,流量依然穩(wěn)定,確保了所配標(biāo)準(zhǔn)混合氣體的精度; ● 所有配氣方案可修改、刪除、保存,大大方便了重復(fù)性配氣工作; ● 本系統(tǒng)軟件采用中文WINDOWS做為工作平臺,操作界面友好,并具備針對配氣方案的定制、執(zhí)行工作中的實時監(jiān)控功能,使配氣操作更規(guī)范、更準(zhǔn)確; ● 高壓氣體管路安裝有高壓安全閥,如壓力過大(一般設(shè)定為16Mpa),可自動卸壓; ● 所有殘氣均通過專門氣體管路向室外排空,避免配氣工作間的空氣受到污染。 | |||||||||
| 技術(shù)參數(shù): | |||||||||
| ● 還原氣體成分(V/V):30%CO+70%N2; ● 還原氣體流量(L/min):12; ● 配氣精度:±0.2%; ● 預(yù)熱時間:<15min; ● 氣體流量重復(fù)精度:±0.2%F.S ; ● 氣體流量響應(yīng)時間:1~4sec; ● 氣瓶: 40L鋼瓶的N2、CO; N2純度%(V/V:≥99.99; CO純度%(V/V:≥99.50 ● 使用環(huán)境溫度:5~45℃; ● 電源:220VAC 50/60Hz,10KW。 | |||||||||



































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