
核心零部件全部
三軸均采用高精密天然花崗巖
三軸導(dǎo)軌均采用高精度自潔式空氣軸承,運動更平穩(wěn),導(dǎo)軌受磨損
三軸均采用高精度進口光柵尺
X向采用精密60°三角梁技術(shù),相比矩形梁,重心更低,質(zhì)量剛性比,運動更加可靠
Y 向采用整體燕尾式導(dǎo)軌,在降低機器重量的同時,有效消除了運動扭擺,保證了測量精度和穩(wěn)定性
業(yè)界的專用PCDMIS BASIC(PREMIUM)手動測量軟件,操作簡單,運行可靠
符合人機工程學(xué)的設(shè)計
規(guī)格型號與技術(shù)指標(biāo):
| 機器型號 | Tango564 | Tango686 | Tango8106 | Tango8126 | |
| 行程(mm) | X | 500 | 600 | 800 | 800 |
| Y | 600 | 800 | 1000 | 1200 | |
| Z | 400 | 600 | 600 | 600 | |
| 測量空間(mm) | Dx | 614 | 714 | 914 | 914 |
| Dy | 1155 | 1355 | 1555 | 1755 | |
| Dz | 535 | 735 | 735 | 735 | |
| Dx1 | 135 | 135 | 135 | 135 | |
| Dy1 | 105 | 105 | 105 | 105 | |
| 花崗巖平臺螺紡尺寸(mm) | M1 | 172 | 195 | 270 | 270 |
| M2 | 327 | 377 | 427 | 377 | |
| Mx | 200 | 125 | 150 | 150 | |
| My | 150 | 150 | 150 | 150 | |
| 外形尺寸(mm) | L | 1155 | 1355 | 1555 | 1755 |
| W | 940 | 1040 | 1240 | 1240 | |
| H | 2209 | 2609 | 2609 | 2609 | |
| 承重(Kg) | 300 | 300 | 500 | 500 | |
| 機器重量(Kg) | 725 | 1030 | 1200 | 1400 | |
| MPEe(μm) | 3.5+L/300 | 3.5+L/300 | 4.5+L/300 | 5.0+L/300 | |
| 光柵尺分辨(μm) | 0.4 | ||||
| 空氣流量 | 120NL/min | ||||
| 供氣壓力 | 0.45MPa | ||||
| 溫度 | 20±2℃ | ||||
| 濕度 | 45%-75% | ||||
































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