XENOS可在各類要求高測量精度的領域使用——從科研機構的測量實驗室、航空和航天工業(yè)直至光學工業(yè)。

這一測量機的測量精度達到技術極限,其測量范圍近1立方米，測量精度達到0.3μm。

創(chuàng)新的驅動技術和碳化硅陶瓷材料的使用也確保了機器的動態(tài)性能。

創(chuàng)新的機械設計

ZEISS XENOS新型的機械設計基于經過驗證的 zeiss center max.令人印象深刻。

與標準橋式測量機不同:Y導軌分布于側壁頂部,分離式移動行程軸僅橫梁于Y軸方向移動,更小及恒定的移動重量一一與移動式平臺相比堪稱真正的優(yōu)勢。

所有軸均采用線性驅動

XENOS的所有軸均采用線性驅動。

其優(yōu)點:高速、加速極快、定位精度高、驅動無剪切力影響結合超高分辨率光柵尺技術, XENOS的線性驅動可獲得高度穩(wěn)定性及低于結合超高分辨率光柵尺技術, XENOS的線性驅動可獲得高度穩(wěn)定性及低于100納米的*定位精度。

虛擬驅動

于測量曲面時更顯見另一優(yōu)勢:測針的移動路徑與預定值越吻合,即可實現(xiàn)越出色的精確性。

虛擬驅動 XENOS于Y軸向配備雙線性驅動系統(tǒng),得益于蔡司全新的驅動技術可實現(xiàn)優(yōu)異的同步控制。

該技術可據(jù)X軸位置分布驅動力作為全新控制系統(tǒng)及算法之結合,這是在整個測量范圍內獲得優(yōu)異的測量精度及運動穩(wěn)定性的關鍵因素。

碳化硅陶瓷

XENOS于Y軸向配備雙線性驅動系統(tǒng)得益于蔡司全新的驅動技術可實現(xiàn)優(yōu)異的同步控制。

該技術可據(jù)X軸位置分布驅動力作為全新控制系統(tǒng)及算法之結合,這是在整個測量范圍內獲得優(yōu)異的測量精度及運動穩(wěn)定性的關鍵因素。

碳化硅陶瓷 XENOS在與精度密切相關的機器部件上采用創(chuàng)新的碳化硅陶瓷材料。

迄今為止,該材料從未在類似產品或精度的測量機器上得到使用與常規(guī)陶瓷相比,碳化硅陶瓷的熱膨脹性降低約50%,而剛性則可提升30%,同時減重20%。

加強型 vast gold

XENOS采用 zeiss vast gold測量探頭。

在研發(fā)過程中,蔡司在測量精度和測量重復度方面對該探頭進行了優(yōu)化 XENOS也采用了新型剛性連接。

VASTgold探頭可與長度為800毫米的測針以及重量500克的測針配套使用,包括非對稱型測針。
 

改進的電子設計

通過全新的電子設計,移動線纜對精度影響顯著降低。

計算機輔助精度修正(C-AA)法和特殊附加CAA修正技術在獲得高精度測量的過程中扮演著日趨重要的作用。

優(yōu)化的氣浮軸承

全新強化處理氣浮軸承具有優(yōu)異的穩(wěn)定性及測量精度。