A.用途及特點：

◆該儀器是一款高精度的綜合測量儀器，包括表面形貌測量系統(tǒng)和表面輪廓測量系統(tǒng)。廣泛適用于機械加工行業(yè)對工件的表面輪廓進行測量。既可以測量工件的距離、角度、圓弧半徑、以及點、線、圓弧等幾何要素的相互位置等形位參數(shù)，又可以測量表面粗糙度、波紋度、原始輪廓參數(shù)。

◆該儀器采用電感式粗糙度傳感器和光柵式形狀傳感器，測量精度高、適用范圍廣、性能優(yōu)良、操作簡便。是生產(chǎn)車間和計量部門對零件形狀誤差和表面微觀輪廓進行高精度檢測的有效手段。

◆驅(qū)動箱采用高精度的直線導(dǎo)軌和進口光柵傳感器，為高精度輪廓測量提供了的水平基準(zhǔn)。驅(qū)動箱可機動升降，傳感器可自動對準(zhǔn)零位，方便測量。

◆軟件界面友好，測量評定功能*，與現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)相符，數(shù)據(jù)和圖像處理方便，測試報告簡單明了，清晰美觀。

B.主要技術(shù)指標(biāo)：

測量原理：

垂直方向：觸針法，電感式粗糙度傳感器、光柵式形狀傳感器；

水平方向：光柵傳感器；

驅(qū)動箱水平測量范圍：120mm；

驅(qū)動箱滑行速度：0.2，0.5，0.8，1.0 mm/s；

返回速度：1.5mm/s；

驅(qū)動箱返回形式：手動、自動

驅(qū)動箱升降：滾動絲杠升降系統(tǒng)，機動升降，自動對準(zhǔn)零位；

立柱垂直測量高度：280 mm；

工作臺結(jié)構(gòu)：460×720 mm大理石平臺；

輪廓測量系統(tǒng)：

測量范圍：垂直40mm，水平120mm；

測量精度：垂直±(2+|H|/5000)μm，水平4μm/100mm；

垂直分辨力：0.05μm；

水平分辨力：1μm；

測量參數(shù)：垂直距離、水平距離、兩直線夾角、圓弧半徑、圓心－直線距離、圓心－圓心距離、直線度、圓輪廓度等形位公差參數(shù)；

圖形放大倍率：無級連續(xù)放大；可至最小800倍，80000倍；

傳感器測桿長：220 mm；

測針長度：33 mm；

針尖角度：11°；

針尖半徑：20μm；

測力：0.02～0.06N；

傳感器滑行角度：上升角≤77°，下降角≤88°。

粗糙度測量系統(tǒng)：

測量范圍：垂直400μm（可擴展至1200μm），水平120mm；

表面粗糙度示值誤差：≤±5%；

最小分辨力：垂直0.6nm，水平1μm；

取樣長度：0.08，0.25，0.8，2.5，8mm；

評定長度：N×k倍取樣長度，k＝1，2，3，4，5；N為行程長度內(nèi)任意整數(shù)倍。

粗糙度測量參數(shù)：Ra，Rc，Rp，Rv，Rz，Rq，Rsm，Rt，Rsk，Rku，Rdq，Rmr；

波紋度測量參數(shù)：Wa，Wc，Wp，Wv，Wz，Wq，Wsm，Wt，Wsk，Wku，Wdq，Wmr；

原始輪廓測量參數(shù)：Pa，Pc，Pp，Pv，Pz，Pq，Psm，Pt，Psk，Pku，Pdq，Pmr；

微觀輪廓測量參數(shù)：｜X2-X1|，｜Z2-Z1|；

圖像分析功能：支承率曲線、幅度分布曲線、輪廓峰密度等；

輪廓圖形垂直放大倍率：500000倍無級連續(xù)放大；

輪廓圖形水平放大倍率：50000倍無級連續(xù)放大；

傳感器測針：金剛石棱錐，錐角90°，針尖半徑：2μm。

儀器出廠精度指標(biāo)：

Ra值示值誤差：不大于±5%

Ra值測量重復(fù)性：不大于3%

Rsm值示值誤差：不大于±5%

虛假信號：有導(dǎo)頭傳感器虛假信號的Ra值不大于0.005μm

無導(dǎo)頭傳感器虛假信號的Ra值不大于0.025μm

測針垂直位移的線性誤差：不大于±(2+|H|/5000)μm，H——測針垂直位移值。

角度測量誤差：不大于±5′

圓弧半徑測量誤差：不大于±（10+0.3‰×R）μm，R——檢驗用標(biāo)準(zhǔn)球標(biāo)稱半徑。

D.儀器外形尺寸與重量：

儀器凈重：260kg；儀器毛重：360kg；

儀器外型尺寸：1610mm×500mm×740mm

包裝外形尺寸：1590mm×1150mm×1065mm