橢圓偏振光譜儀UVISEL PLUS是一種無(wú)損無(wú)接觸的光學(xué)測(cè)量,基于測(cè)量線偏振光經(jīng)過(guò)薄膜樣品反射后偏振狀態(tài)發(fā)生的改變,通過(guò)模型擬合后得到薄膜、界面和表面粗糙層的厚度以及光學(xué)性質(zhì)等等,可測(cè)厚度范圍為幾埃至幾十微米。此外,還可以測(cè)試材料的反射率及透過(guò)率。
技術(shù)參數(shù):
? 光譜范圍: 190-885nm(可擴(kuò)展至2100nm)
? 微光斑可選50μm-100μm-1mm
? 探測(cè)器:分別針對(duì)紫外,可見(jiàn)和近紅外提供優(yōu)化的PMT和IGA探測(cè)器
? 自動(dòng)樣品臺(tái)尺寸:多種樣品臺(tái)可選
? 自動(dòng)量角器:變角范圍40° - 90°,全自動(dòng)調(diào)整,小步長(zhǎng)0.01°
主要特點(diǎn):
? 50KHz高頻PEM相調(diào)制,測(cè)量光路中無(wú)運(yùn)動(dòng)部件
? 具備薄膜所需的測(cè)量精度,厚膜所需的高光譜分辨率
? 具有毫秒級(jí)快動(dòng)態(tài)采集模式,可用于在線實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)
? 自動(dòng)平臺(tái)樣品掃描成像、變溫臺(tái)、電化學(xué)反應(yīng)池、液體池、密封池等多種附件
? 配置靈活



































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