型號：GMG-210B

說明：10kW/2450MHz 高穩(wěn)定微波功率源

1. GMG-210B/C型微波源概述

GMG-210B/C型高穩(wěn)定程控微波源采用智能芯片控制，用戶通過設(shè)置參數(shù)后，系統(tǒng)控制由智能芯片完成，控制精度高、穩(wěn)定性好、操作簡單。系統(tǒng)采用聯(lián)鎖控制方式，能有效地防止誤操作，對水、溫度、市電等條件異常時有*的保障系統(tǒng)，確保正常、安全工作。系統(tǒng)還提供外接聯(lián)鎖控制保護(hù)接口，保護(hù)操作人員和負(fù)載安全。系統(tǒng)采用控制柜與功率頭分離結(jié)構(gòu)，方便用戶連接不同類型的微波工作室（或腔體）。

GMG-210B型高穩(wěn)定程控微波源，采用旋鈕和按鍵方式操控開機、關(guān)機和微波功率設(shè)定，控制面板設(shè)有微波功率輸出顯示表頭和微波反射功率顯示表頭，操作簡便，系統(tǒng)工作狀態(tài)一目了然。

GMG-210C型高穩(wěn)定程控微波源采用觸摸屏控制方式，為用戶提供兩種操控模式，即簡易操作模式和用戶編程操作模式。

GMG-210B/C型高穩(wěn)定程控微波源適合與微波等離子體化學(xué)氣相沉積（MPCVD）系統(tǒng)、微波等離子鍍膜系統(tǒng)、微波ECR系統(tǒng)、微波等離子源系統(tǒng)、微波精細(xì)陶瓷燒結(jié)系統(tǒng)等配套，為不同的微波反應(yīng)腔體提供精確、穩(wěn)定的微波功率源。

2. GMG-210B/C型 微波源系統(tǒng)組成及技術(shù)指標(biāo)

2.1. 系統(tǒng)組成：為方便連接各種不同類型的波導(dǎo)系統(tǒng)，本微波源將微波功率頭從控制柜中分離出來，既方便波導(dǎo)連接，也便于安裝操作。

⑴ 微波功率頭：采用微波磁控管規(guī)格型號為國產(chǎn)CK-2091 10kw/2450MHz±5MHz作為功率源，輸出功率為10KW。如圖2.1所示。

⑵ 控制系統(tǒng)：采用智能芯片編程控制，可控制微波輸出功率。采用了安全保護(hù)系統(tǒng)，保證系統(tǒng)正常、安全地工作。提供負(fù)載聯(lián)鎖保護(hù)接口，能有效地防止誤操作，保護(hù)操作人員。