國(guó)儀量子場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000

產(chǎn)品介紹

SEM5000是一款分辨率高、功能豐富的場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡。

*的鏡筒設(shè)計(jì)，高壓隧道技術(shù)（SuperTunnel）、低像差無漏磁物鏡設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了低電壓高分辨率成像，同時(shí)磁性樣品可適用。光學(xué)導(dǎo)航、*的自動(dòng)功能、精心設(shè)計(jì)的人機(jī)交互，優(yōu)化的操作和使用流程，無論經(jīng)驗(yàn)是否豐富，都可以快速上手，完成高分辨率拍攝任務(wù)。

電子槍類型           高亮度肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍

加速電壓             0.1 kV ~ 30 kV

分辨率              1 nm @ 15 kV  2.5 nm @ 1 kV

樣品臺(tái)              五軸全自動(dòng)樣品臺(tái)

放大倍率             1 ~ 1,000,000 x

產(chǎn)品特點(diǎn)

分辨率高，低加速電壓下實(shí)現(xiàn)高分辨成像

高壓隧道技術(shù) (SuperTunnel), 在隧道中的電子能保持高能量，減少了空間電荷效應(yīng)，低電壓分辨率得到保證

電子光路無交叉，有效的降低系統(tǒng)像差，提升分辨能力

電磁復(fù)合物鏡，減小像差，顯著提高低電壓下的分辨率，而且可觀察磁性樣品

水冷恒溫物鏡，保證物鏡工作的穩(wěn)定性、可靠性和可重復(fù)性

磁偏轉(zhuǎn)六孔可調(diào)光闌，自動(dòng)切換光闌孔，無需機(jī)械調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換

應(yīng)用領(lǐng)域

規(guī)格參數(shù)

電子光學(xué)系統(tǒng)

分辨率             1.0nm @ 15 kV

2.5 nm @ 1 kV

放大倍率            1 x ～ 1,000,000 x

加速電壓            0.1 kV ～ 30 kV

電子槍類型          高亮度肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍

磁場(chǎng)屏蔽           被動(dòng)式磁屏蔽

主動(dòng)式磁屏蔽（選配）

成像系統(tǒng)

探測(cè)器             鏡筒內(nèi)高角度電子探測(cè)器（Inlens-SE Detector）

側(cè)向二次電子探測(cè)器（ET Detector）

擴(kuò)展               背散射電子探測(cè)器（BSE Detector）

能譜儀（EDS）

背散射衍射（EBSD）

電子束感生電流（EBIC）

陰極熒光（CL）

圖像保存格式         TIFF、JPG、BMP、PNG

樣品室

真空控制方式         全自動(dòng)控制，無油真空系統(tǒng)

攝像頭             雙攝像頭

( 光學(xué)導(dǎo)航 + 樣品倉內(nèi)監(jiān)控 )

樣品臺(tái)配置           五軸全自動(dòng)樣品臺(tái)

行程

X: 130 mm

Y: 105 mm

Z: 40 mm（大行程可選配）

R: 360°

T: -10°～ +90°

減震

主副減震支架

雙氣室隔膜式減震器

主動(dòng)式減震器（選配）

軟件

語言               中文

操作系統(tǒng)            Windows

導(dǎo)航               光學(xué)導(dǎo)航、手勢(shì)快捷導(dǎo)航

自動(dòng)功能            自動(dòng)亮度對(duì)比度、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)像散