1、 掃描臺：第二代High Definition高清晰掃描臺；重復精度 0.05um

X / Y 軸均為超高性能線性馬達（Y 軸為雙馬達）

X / Y 軸具有內置磁力機構，配置儀器設備專用大理石防震臺和平衡慣性機構，確保掃描的穩(wěn)定性在高速掃描過程中可隔絕振動的影響，可避免圖像因快速掃描而失真；

2. 前后雙探頭機構，可前后同時反射掃描，2倍單探頭掃描效率；

3. 前后每個探頭各自掃描范圍：最?。?00 x 200 μm ：320 x 320 mm

4. 可自動尋找被測樣品的中心位置和樣品邊緣尺寸，自動設定掃描范圍

5. 掃描速度： 2,000mm/s, X 軸加速度：20,000mm/s2

6. 接收發(fā)射器DPR 500帶寬：500MHz

7. ADC 卡采樣頻率：5G/秒

8. 支持探頭頻率：5MHz-400MHz

9. 增益調節(jié)窗口：-22dB-50dB, 更多功能高級菜單設置

10. 主要掃描模式：A-掃描、B-掃描、X-掃描 （多層C掃描）、Z-Staple 掃描（在不同的Z高度進行連續(xù)的C掃描）、多重門限掃描、T-Scan (透射掃描)、High Quality-高清晰掃描、表面跟蹤掃描、Z-Scan實體掃描模式、托盤矩陣掃描、 Z變換掃描、順序掃描預掃描、自動掃描、空位跳躍掃描、插值掃描、分頻掃描，Over Scan等；

11. 圖像分辨率≥ 32,000 x 32,000 像素, 精度最小0.5um/像素；

12. HiSA 高速實時自動聚焦功能（選項，可選前面1個HiSA 或前后2個HiSA ）：

可根據樣品的翹曲情況（5mm以內），在掃描過程中實時調整焦距，即Z軸一邊掃描，一邊實時自動改變Z軸探頭的上下對焦位置，使得探頭對于檢測位置始終處于聚焦狀態(tài)，從而保證整個樣品的圖像完整性；

13. DTS 高分辨率動態(tài)透射掃描（選項）：

改變了傳統(tǒng)穿透式透射接收探頭安裝固定后就無法聚焦的狀況，通過后置Z軸運動單元，使用者可以像C-掃描反射探頭一樣對該透射接收探頭進行調整和聚焦，使得發(fā)射探頭和透射接收探頭處于同一聚焦面，保證透射接收探頭的信號，透射圖像甚至可以和C-掃描的分辨率相媲美；

可選DTS透射接收探頭：40MH z f=16mm 或 40MHz f=12.7mm