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科視達® 專為廣大用戶提供*的超聲掃描檢測檢驗設備, 系德國 PVA TePla 超聲波掃描顯微鏡 ( SAM /SAT ) 之中國區(qū)代理。

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產品簡介在線詢價

對于硅來說，缺陷分辨率≥100μm;對于比較大、重的樣品必須根據外形來自定義裝載端口和掃描頭）4通道系統(tǒng)，保障獲得高性能的吞吐能力；高分辨率的探頭陣列，可檢測100μm的空洞缺陷

用于晶錠質量控制的自動模具系統(tǒng) 產品詳情

對于硅來說，缺陷分辨率≥100μm;

對于比較大、重的樣品必須根據外形來自定義裝載端口和掃描頭）

4通道系統(tǒng)，保障獲得高性能的吞吐能力；
高分辨率的探頭陣列，可檢測100μm的空洞缺陷。

主要用于單個晶錠的缺陷檢測，分析空洞、夾雜物以及樣品的大小厚度等數據。它能夠檢測5-12英寸的硅錠，可達400mm的厚度，重量可達75公斤。

通過5套高性能的RAID1工作站，獲得相關數據；
和加工主機通訊的SEMSESC接口模塊；
缺陷回放軟件：系統(tǒng)能夠估算晶錠內部缺陷
在三個方向（X,Y,Z)的位置,包括鍥入缺陷的補償；

用于5-12英寸硅錠的裝載端口；
如果晶錠前面接口處無法垂直于模具中心線，
有特殊的調整機構可用來補償鍥入缺陷；
前軸定位和槽口探測器；
高精密的把手設備，對于晶錠來說，可達75公斤；
快速多探頭掃描系統(tǒng)（4個探頭）；
檢測前后的干燥單元；
缺陷深度探測的分析軟件和硬件；
耦合液（水）的自動更換；

關鍵詞：工作站

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