● Z軸通過電動手脈進行精準控制（對焦精度可達0.0005mm）

● 快速釋放裝置便于測量工件大或測量工件數(shù)量多的快速移動工作臺

● 高位目鏡觀察

● 千兆網(wǎng)口CCD圖像成像(HKVISION-300萬像素)

晶圓高度測量儀技術(shù)參數(shù)

3.1主體規(guī)格

◆X坐標行程:    200（mm）

◆Y坐標行程：   100（mm）

◆Z坐標行程:    150（mm）
◆X、Y坐標測量示值誤差≤（3+L/150）µm ，L為被測長度(單位：mm)
◆X、Y、Z數(shù)顯分辨率：0.001mm  
◆輪廓光源：綠色LED平行光源，無極亮度可調(diào)

◆上光源：白色LED環(huán)形可調(diào)光源

3.2目視系統(tǒng)
◆雙目視鏡筒+標準的TV攝像機端口

◆物鏡：1.0-6.5X可連續(xù)變倍物鏡

◆目鏡放大倍數(shù)：10X，單雙目同，可選配20X
◆總放大倍數(shù)：  10X-65X（包括畸變在內(nèi)的）
◆物鏡放大倍數(shù)誤差：放大率誤差范圍在0.08%內(nèi)
3.3影像系統(tǒng)
◆標配CCD相機1X鏡筒

◆CCD：千兆網(wǎng)口高清晰攝像頭（HKVISION）
◆綜合影像放大倍數(shù)：45X-1000X

晶圓高度測量儀軟件功能

1.產(chǎn)品介紹

公司推廣出的Z軸電動手脈金相測量顯微鏡，使用專業(yè)訂制的高精準細分脈沖金相測量電機，通過設(shè)置多種脈沖細分量和機構(gòu)上的精準調(diào)校，可以實現(xiàn)快中慢三檔調(diào)速來控制Z軸光學鏡頭上下移動；

而在選擇低速檔時，我們讓電機脈沖量的最小化設(shè)置跟傳動機構(gòu)的調(diào)校，可以保證Z軸上下移動時，精細到0.5UM-1UM（甚至更低的分辨率）每格（手脈刻度），而有效地杜絕了了目前市場上主流金相測量顯微鏡在高倍率使用下的通病不再發(fā)生（高倍下無法定準對焦面，使用手動Z軸調(diào)焦齒輪打滑等等現(xiàn)象！）

◆Z軸電動手脈金相測量顯微鏡集軟件、光、機、電為一體，是高精度、高效率的測量顯微鏡；

◆Z軸電動手脈金相測量顯微鏡是觀察、測量和處理系統(tǒng)化的顯微鏡陣容;

◆Z軸電動手脈金相測量顯微鏡可以作為觀察顯微鏡，用相對量測法檢查工件表面形狀等非接觸

測量為目的各種精密加工業(yè)，是計量室、實驗室以及生產(chǎn)車間*的計量檢測設(shè)備之一。