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MProbe UVVisSR 反射膜厚儀

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  • 型號MProbeUVVisSR
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2022-04-14
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 所在地區(qū)上海
  • 實名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量128
  • 人氣值2979
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鉑悅儀器不僅擁有高品質(zhì)的產(chǎn)品,更培養(yǎng)了專業(yè)的銷售、技術(shù)和售后服務(wù)團(tuán)隊,本著客戶*的原則,從客戶的實際需求出發(fā),鉑悅儀器為每一位客戶量身訂制適合的綜合解決方案,并提供持續(xù)而良好的售后服務(wù),由此也獲得了廣大客戶的信任與認(rèn)可。

 

鉑悅儀器的總公司設(shè)立在上海,并在北京、廣州、成都等共設(shè)立了七個辦事處,在能及時引進(jìn)*進(jìn)技術(shù)的同時,保證了鉑悅儀器能快速、有效的為各地的客戶提供良好的服務(wù)。

 

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產(chǎn)品描述:MProbe UVVisSR薄膜測厚儀大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩(wěn)定的被測量。
反射膜厚儀 產(chǎn)品詳情

產(chǎn)品概述

        MProbe UVVisSR薄膜測厚儀大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩(wěn)定的被測量。比如:氧化物,氮化物,光刻膠,高分子聚合物,半導(dǎo)體(硅,單晶硅,多晶硅),半導(dǎo)體化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬涂層(碳化硅,類金剛石炭),聚合物涂層(聚對二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)

       該機(jī)大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩(wěn)定的被測量。比如:氧化物,氮化物,光刻膠,高分子聚合物,半導(dǎo)體(硅,單晶硅,多晶硅),半導(dǎo)體化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬涂層(碳化硅,類金剛石炭),聚合物涂層(聚對二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)

測量范圍: 1 nm -50um    

波長范圍: 200 nm -1000 nm

MProbe UVVisSR薄膜測厚儀適用于實時在線測量,多層測量,非均勻涂層, 軟件包含大量材料庫(超過500材料),新材料可以很容易的添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等。

測量指標(biāo):薄膜厚度,光學(xué)常數(shù)

界面友好*: 一鍵式測量和分析。

實用的工具:曲線擬合和靈敏度分析,背景和變形校正,連接層和材料,多樣品測量,動態(tài)測量和產(chǎn)線批量處理。

(MProble NIR薄膜測厚儀系統(tǒng)示 )

案例1,73nm SiN氮化硅薄膜的測量

硅晶圓反射率,測量時間10ms

使用Tauc-Lorentz模型,測量SiN薄膜的n和k值

關(guān)鍵詞:測厚儀
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