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硅片厚度測試儀 SIT-200

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地北京市
  • 更新時間2026-07-09
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 所在地區(qū)北京市
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量807
  • 人氣值14315
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產(chǎn)品介紹:波威代理Alnair的SIT-200是一款基于SIT-200使用高速掃頻可調(diào)諧激光探測硅片厚度的硅片厚度測試儀。 基于高速波長掃描的激光器可以實(shí)現(xiàn)每波長更高功率的測量,從而實(shí)現(xiàn)高動態(tài)范圍,甚至在未拋光的晶片上也可以進(jìn)行厚度測量,例如在濕法蝕刻期間/之后。硅晶片厚度傳感器由精確調(diào)諧的波長掃描激光源,聚焦傳感器和光接收器(PD)構(gòu)成。 波長掃描光聚焦在目標(biāo)上,并且在通過傳感器之后由PD檢
硅片厚度測試儀 SIT-200 產(chǎn)品詳情

詳細(xì)信息

產(chǎn)品介紹:

波威代理Alnair的SIT-200是一款基于SIT-200使用高速掃頻可調(diào)諧激光探測硅片厚度的硅片厚度測試儀。 基于高速波長掃描的激光器可以實(shí)現(xiàn)每波長更高功率的測量,從而實(shí)現(xiàn)高動態(tài)范圍,甚至在未拋光的晶片上也可以進(jìn)行厚度測量,例如在濕法蝕刻期間/之后。硅晶片厚度傳感器由精確調(diào)諧的波長掃描激光源,聚焦傳感器和光接收器(PD)構(gòu)成。 波長掃描光聚焦在目標(biāo)上,并且在通過傳感器之后由PD檢測由目標(biāo)表面和背面的反射形成的干涉圖案。

產(chǎn)品特點(diǎn):

l 用于硅晶圓的全光學(xué),非接觸式厚度傳感器

l 高動態(tài)范圍,能夠測量無序表面

l 能夠在濕法蝕刻期間進(jìn)行原位測量

產(chǎn)品應(yīng)用:

l 硅片厚度測量

產(chǎn)品參數(shù):

主要技術(shù)指標(biāo)

硅片厚度測試傳感器(SIT-200)

SIT-200

測試功能

-

硅片厚度

厚度測試范圍

um

10~500(n=3.5)

激光器

nm

波長掃描激光器,1515nm-1585nm

光輸出功率

mW

0.6(Class 1)

引導(dǎo)光源(基準(zhǔn)光源)

-

RED LD,Laser class 1M

測試時間

ms

≥20

重復(fù)率

um

<0.1(3σ)

監(jiān)控輸出

-

干擾信號(電信號)

程控接口

-

Ethernet(網(wǎng)口)

電源

-

AC100-240V(50/60Hz)

尺寸(WxHxD)

mm

364x147x391

重量

Kg

9.0

其他說明

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