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公司介紹主營產(chǎn)品

西安賽航光電科技有限公司是一家專業(yè)的儀器代理商，我們代理的國內(nèi)外優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品，致力于服務(wù)科研院所、高等院校、政府職能部門、*等實驗室，以及企業(yè)研發(fā)和質(zhì)量控制部門。我們根據(jù)客戶需求，為客戶提供整體解決方案，幫助客戶解決在科研生產(chǎn)中遇到的問題。

西安賽航光電供應(yīng)的產(chǎn)品及服務(wù)：

光電材料生化集：光纖光譜儀系列、透過率-吸光度-反射率-熒光-拉曼光譜測試系統(tǒng)、光譜橢偏儀、激光橢偏儀、教學(xué)橢偏儀、偏振態(tài)檢測儀、波片檢測儀、固體激光器、可調(diào)諧激光器、半導(dǎo)體激光器、氣體激光器、皮秒激光器、飛秒激光器、量子級聯(lián)激光器、激光功率能量計、高精度光譜分析系統(tǒng)、光學(xué)元件、光機電產(chǎn)品、光學(xué)平臺、太陽能電池測試系統(tǒng)、霍爾效應(yīng)測量系統(tǒng)、材料燒結(jié)實驗電爐、真空鍍膜設(shè)備。

環(huán)保、醫(yī)藥、化工集：便攜式拉曼光譜儀、藥物溶出度儀、快速制備色譜系統(tǒng)、紫外可見-原子吸收-熒光分光光度計、氣相色譜儀、液相色譜儀、食品安全檢測儀、農(nóng)藥殘毒速測儀、PH計、離子計、自動滴定儀、激光粒度儀、毛細管電泳儀、海爾醫(yī)療冷藏系列、離心機、*、磁力攪拌器、干燥箱等。

應(yīng)用領(lǐng)域：生物、醫(yī)學(xué)、光電物理、材料、化工、電子、環(huán)保、制藥。

西安賽航光電秉承“誠信創(chuàng)新、專業(yè)共贏”的經(jīng)營理念，努力為新老用戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品、技術(shù)和服務(wù)。愿我們成為您值得信賴和尊重的合作伙伴！

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產(chǎn)品簡介在線詢價

PECVD系統(tǒng)-1200℃預(yù)加熱滑動雙溫區(qū)

PECVD系統(tǒng)-1200℃預(yù)加熱滑動雙溫區(qū) 產(chǎn)品詳情

技術(shù)參數(shù)：

系統(tǒng)名稱	1200℃預(yù)加熱滑動雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)
系統(tǒng)型號	PECVD-Y12IIH-3Z/G	PECVD-Y12II6H-3Z/G
溫區(qū)	1200℃
加熱區(qū)長度	420mm	610mm
恒溫區(qū)長度	280mm	400mm
溫區(qū)	雙溫區(qū)	雙溫區(qū)
石英管管徑	Φ50/Φ60/Φ80	Φ80/Φ100
額定功率	3.2Kw	4.8Kw
額定電壓	220V	220V
滑動方式	自動滑動/手動滑動
溫度控制	國產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)50段程序控溫
控制精度	± 1℃
爐管工作溫度	＜ 1200℃
氣路法蘭	本實用新型在密封法蘭與管件鏈接的地方采用多環(huán)密封技術(shù)，在密封法蘭與管外壁間形成了密封，在管件外徑誤差較大的情況下密封仍然有效，該密封法蘭的安裝只需在次使用設(shè)備的時候安裝
預(yù)加熱溫度	1200℃
預(yù)加熱加熱區(qū)長度	300mm
預(yù)加熱恒溫區(qū)長度	160mm
額定功率	1.2KW
額定電壓	220V
溫度控制	國產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)50段程序控溫
控制精度	± 1℃
氣體控制方式	質(zhì)量流量計
氣路數(shù)量	3路（可根據(jù)具體需要選配氣路數(shù)量）
流量范圍	0-500sccm（標準毫升/分，可選配）氮氣標定
精度	± 1%F.S
響應(yīng)時間	≤ 4sec
工作溫度	5-45℃
工作壓力	進氣壓力0.05-0.3Mpa（表壓力）
系統(tǒng)連接方式	采用KF快速連接波紋管、高真空手動擋板閥及數(shù)顯真空測量儀
規(guī)格	中真空		高真空
系統(tǒng)真空范圍	10pa-100pa		1×10^-3pa-1×10^-1pa
真空泵	雙極機械泵理論極限真空度3x10^-3pa，抽氣速率4L/S，出氣口配有油污過濾器，額定電壓200V，功率0.55Kw		真空分子泵理論極限真空度5x10^-6pa，抽氣速率1600L/S，額定電壓200V，功率2Kw
信號頻率	13.56MHz ± 005%
功率輸出范圍	5W-500W
反射功率	200W
射頻輸出接口	50Ω，N-type，temale
功率穩(wěn)定度	± 0.1%
諧波分量	≤ -50dbc
供電電壓	單相交流（187V-253V）頻率50/60HZ
整機功率	≥ 70%
屏幕顯示	正方向功率，匹配器電容位置，偏置電壓值
整機尺寸	48350088mm
爐體外形尺寸	340×580×555mm		480×770×605mm
系統(tǒng)外形尺寸	5302310750mm		5302310750mm（不含高真空）
系統(tǒng)總重量	300Kg		380Kg

產(chǎn)品用途

PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。

PECVD系統(tǒng)配置

? 1200度開啟式雙溫區(qū)真空管式爐。

? 滑動系統(tǒng)分為手動，電動滑動，并配置管內(nèi)測溫系統(tǒng)。

? 預(yù)加熱開啟式管式電爐。

? 等離子射頻電源。

? 多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)。

? 真空系統(tǒng)（可選配中真空或者高真空）。

產(chǎn)品特點

生長溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、適用范圍廣、設(shè)備簡單。

關(guān)鍵詞：質(zhì)量流量計標準測量儀真空泵過濾器

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價	地區(qū)	公司名稱	更新時間
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微量水分測定儀	面議	北京市	北京亞歐德鵬科技有限公司	2026-09-16	在線詢價
智能馬弗爐	￥2000	青島市	青島聚創(chuàng)環(huán)保集團有限公司	2026-09-10	在線詢價
DDL-1KW硅控可調(diào)電爐（敞開式）	面議	常州市	常州金壇精達儀器制造有限公司	2026-09-09	在線詢價
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