- 產(chǎn)品描述
氦離子色譜儀適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè),小檢測(cè)濃度可達(dá)5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測(cè)器,采用華愛(ài)公司的中心切割技術(shù),進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路;整機(jī)采用多柱箱設(shè)計(jì),并配備進(jìn)樣壓力自動(dòng)校正系統(tǒng),保證不同底氣的樣品的進(jìn)樣量。產(chǎn)品先后榮獲上海市*成果轉(zhuǎn)化項(xiàng)目。
氟的技術(shù)指標(biāo):
| 項(xiàng)目 | 指標(biāo) | |
| 氟(F2)(體積分?jǐn)?shù))/10-2 | ≥ | 99 |
| 氧(O2)+氮(N2)(體積分?jǐn)?shù))(N2)/10-2 | ≤ | 0.45 |
| 四氟化碳(CF4)(體積分?jǐn)?shù))/10-2 | ≤ | 0.05 |
| *(HF)(體積分?jǐn)?shù))/10-2 | ≤ | 0.5 |
氟氮混合氣的技術(shù)指標(biāo):
| 項(xiàng)目 | 指標(biāo) | |
| 氟(F2)(體積分?jǐn)?shù))/10-2 | 20 | |
| 氮(N2)(體積分?jǐn)?shù))(N2)/10-2 | 80 | |
| 氧(O2)(體積分?jǐn)?shù))(N2)/10-2 | ≤ | 0.08 |
| 四氟化碳(CF4)(體積分?jǐn)?shù))/10-2 | ≤ | 0.03 |


































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