一、 概述
背壓檢漏法是在氦質(zhì)譜檢漏法中應(yīng)用較廣泛的方法之一,它主要用于封離電子器件、半導(dǎo)體器件和具有內(nèi)空腔的微電路封裝等元件的氣密性檢測。
A601氦氣氟油加壓儀可以用于元器件進行氦質(zhì)譜檢漏前的氦氣加壓,也可將元器件置于輕氟油中做氟油檢漏前的加壓。做氦質(zhì)譜檢測時示蹤氣體為氦氣,進行氟油檢漏時示蹤物質(zhì)是輕氟油。
二、 主要技術(shù)指標
允許充壓: ≤0.6MPa
壓力容器尺寸: Ф200×150㎜/Ф312×250 ㎜
容器真空壓力: ≤50Pa
壓力范圍:0.2-0.6MPa
電源功率: 220V 400W
三、使用條件
設(shè)備使用之前需準備滿足實驗需要的氮氣、氦氣和輕氟油(F113)
四、 設(shè)備功能
采用PLC 控制,全自動操作
觸摸屏操作,設(shè)備各元件工作狀態(tài)均可顯示,壓力和時間可設(shè)置,操作便捷直觀
油位顯示,具備過濾功能
可有效防止誤操作和提高檢漏效率
壓力罐配有光電檢測設(shè)備,可隨時監(jiān)測壓力罐內(nèi)的油位
真空系統(tǒng)可選配干式真空泵
五、配置清單
序號 | 名稱 | 規(guī)格 | 數(shù)量 |
1 | 壓力容器 | Φ150x200mm Ф312×250mm | 2 個 |
2 | 樣品提籃 | 2 個 | |
3 | 輕氟油儲罐 | Φ150x200mm | 1 個 |
4 | 機械泵 | 4L/S | 1 臺 |































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