A530 描述

A530 移動(dòng)式氦質(zhì)譜檢漏儀(Helium Mass Spectrometer Leak Detector)，是一款大抽速（前級(jí)泵抽速30 m³/h），低維護(hù)、高靈敏度、操作便捷的干泵檢漏儀。A530 氦質(zhì)譜檢漏儀輕松檢漏，使您放心得到快速準(zhǔn)確可靠的測(cè)試結(jié)果。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于科研院所、航空航天、半導(dǎo)體、半導(dǎo)體氣柜，光伏等行業(yè)。

功能特點(diǎn)

大抽速前級(jí)泵，工作效率高

支持正壓檢漏，負(fù)壓檢漏

優(yōu)化設(shè)計(jì)的質(zhì)譜系統(tǒng)和智能算法確保在所有量程快速響應(yīng)

自動(dòng)跟蹤本底功能，提供快速可靠的測(cè)量結(jié)果

高可靠性的真空系統(tǒng)和質(zhì)譜系統(tǒng)確保快速清氦

機(jī)器的性能支持7*24 小時(shí)長(zhǎng)時(shí)間在線測(cè)試

雙銥絲離子源，系統(tǒng)設(shè)計(jì)有效的防大氣沖擊功能

配有檢漏口精細(xì)過濾器，過濾細(xì)微雜質(zhì)，確保機(jī)器不受雜質(zhì)影響和損傷

支持氮?dú)馄瓶?，不受環(huán)境氦氣干擾，快速降低本底有可便捷更換過濾器

指標(biāo)：

最小可檢漏率：5×10-13Pa·m3/s

漏率顯示范圍：1×10-3～1×10-13Pa·m3/s

啟動(dòng)時(shí)間：≤2min

響應(yīng)時(shí)間：＜0.5s

檢漏口工作壓：1500Pa

前級(jí)泵抽速：30m3/h

配置：

德國(guó)普發(fā)分子泵，

渦旋干泵，30 m3/h

德國(guó)寶帝電磁閥

歌博氦質(zhì)譜分析模塊（雙銥帶離子源）

標(biāo)準(zhǔn)漏孔（10-8 Pa·m3/s）