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Diener FEMTO系列 等離子清洗機

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2022-04-25
  • 廠商性質
  • 所在地區(qū)
  • 實名認證已認證
  • 產品數量282
  • 人氣值1824
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Diener FEMTO系列 等離子清洗機
Diener FEMTO系列 等離子清洗機 產品詳情

德國Diener electronic成立于1993年,是世界低溫等離子工業(yè)的,是一家專門研發(fā)和制造低溫低壓等離子清洗機、等離子射頻電源和大氣(常壓)等離子清洗機的高科技企業(yè)。
用途:
Diener等離子清洗機可用于清洗、刻蝕、磨砂和表面準備等。可選擇40KHz、13.56MHz和2.45GHz三種射頻發(fā)生器,以適應不同的清洗效率和清洗效果需要。
Diener等離子清洗/刻蝕機具有成本低廉、操作靈活的特點,主要適合于高科技生產單位的以下場合:
半導體開發(fā)、集成電路開發(fā)、真空電子行業(yè)、生命科學實驗等等。
Diener等離子清洗/刻蝕機具有以下特點:
可以更靈活地操作,簡便地改變處理氣體的種類和處理程序;不會對操作人員的身體造成任何傷害;其成本對于等離子處理方法來說是微不足道的。

  Femto A

     Femto C

   Femto D

Femto B

      Femto E

Femto 等離子系統能夠以不同的形式進行整合,例如以模塊系統的形式。在下文中您可以大致了解能夠與Femto 等離子系統一同使用的見的選裝件。Femto 等離子系統主要應用于以下領域:

  • 分析

  • 考古

  • 汽車行業(yè)

  • 研究和開發(fā)部門

  • 半導體技術

  • 小批量生產

  • 塑料技術

  • 醫(yī)療技術

  • 微系統技術

  • 傳感器

  • 滅菌

  • 紡織技術

技術參數:

系列

Femto

控制系統

半自動型

PCCE 控制系統 (MicrosoftWindows CE)

PC 控制系統 (Microsoft Windows POS Ready 2009)

體積

1.9~6L

真空腔室

圓形不銹鋼件,配有蓋子
(大約Φ100 mm, 長 278 mm 或者長 600 mm)

矩形不銹鋼件,配有鉸鏈的門
(約寬 103 x 深 285 x 高 103)

配有蓋子的圓形鋁材,或者配有鉸鏈的門
(大約Φ 95 mm, 長 280 mm 或者長 600 mm)

配有蓋子的圓形石英玻璃 (UHP),或者配有鉸鏈的門
(大約Φ95 mm, 長 280 mm 或者長 600 mm)

配有蓋子的硼硅玻璃 (UHP) 或者配有鉸鏈的門
(大約Φ 95 mm,長 280 mm 或者長 600 mm)

電極

單層或多層

RIE

樣品支架

(選項:水冷型)、石英玻璃舟皿、粉末轉鼓、散裝件轉鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃

氣源

針型閥

質量流量控制器 (MFCs)

壓力計

Pirani

Baratron(適用于腐蝕性氣體版本)

計時器

數字型

高頻電流發(fā)生器

40 kHz: 功率 0 - 100 W;0 - 1000 W

13.56 MHz;功率 0 - 50 W;0 - 300 W

12.45 GHz: 功率 0 - 100 W;0 - 300 W

所有發(fā)生器均為 0 - 99% 無級可調型

真空泵

KASHIYAMA

電源

供電電源:臺式設備為 230 V,立式設備為 400 V/3 相位

  • 其他選項

備件套件、壓力計、腐蝕性氣體設計結構、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、Faraday Box、等離子體聚合配件、測試墨水、 氧氣發(fā)生器、慢速通風裝置、慢速抽吸裝置、TEM樣品架法蘭、維護/服務、當地語言的文件、現場安裝,包括培訓??蓱筇峁┑钠渌x項。


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