一、簡介
此閥門適用于超高真空系統(tǒng)中開斷管路,為氣動驅(qū)動方式。它具有工作平穩(wěn),使用可靠、密封性能佳和壽命長等優(yōu)點,是超高真空設(shè)備閥門之一。氣動閥是以壓縮空氣為動力開啟或關(guān)閉閥板,在失去氣源時,閥板將依靠彈簧力自動關(guān)閉。閥門的介質(zhì)為空氣及少數(shù)腐蝕性氣體。
二、特點
• 標(biāo)準(zhǔn)化、模塊化設(shè)計,易于更換及維修;
• 便于清潔的設(shè)計;
• 軸封為波紋管密封,其它密封件為氟橡膠,無潤滑劑設(shè)計;
• 閥體采用不銹鋼內(nèi)部焊接,漏率小;
三、主要性能指標(biāo)
• 適用范圍:1×10-6pa~1.2×105Pa
• 打開時閥板上的壓差:≤1.2×105a任意方向
• 閥體和閥座漏率: <1.3×10-7Pa·L·s-1
• 保養(yǎng)循環(huán)次數(shù):800,000次
• 閥體烘烤溫度:打開時≤200℃;關(guān)閉時≤150℃
• 安裝位置:任意
• 電源:交流220V 50Hz,6W或直流24V,3W(特殊規(guī)格可定做)
• 壓縮空氣:0.4~0.7MPa
• 閥門開閉時間:≤1s
• 閥門位置指示:氣動驅(qū)動:帶有啟閉位置指示開關(guān)(磁性開關(guān))






























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