關(guān)鍵詞:SiO2、AlN、Al2O3、介電膜、刻蝕、電子槍、
離子槍、氧化鋁、氮化鋁、二氧化硅

型號: MEB400S, 產(chǎn)地:歐洲 應(yīng)用:沉積介電薄膜(SiO2, AlN, Al2O3等)
用于介電質(zhì)膜層沉積,例如SiO2,Si3N4,Al2O3
樣品臺雙行星轉(zhuǎn)動,可加載4英寸襯底
配備Load Lock和主腔體
真空系統(tǒng):采用低溫泵/分子泵+干泵
10kW電子束源,多槍
樣品臺可加熱
配備離子槍,可對樣品進行清理和刻蝕
配備氬氣、氮氣氣路和MFC
全自動電腦控制系統(tǒng),半自動和手動可用
支持遠程維護、操作、監(jiān)控
典型用戶:格拉斯哥大學































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