Renishaw雷尼紹 RESOLUTE UHV（超高真空）非增量式光柵

RESOLUTE  UHV為超高真空應(yīng)用提供非增量式光柵技術(shù)，幫助客戶提高測量效率，降低損壞風(fēng)險(xiǎn)，并增強(qiáng) 可靠性。

RESOLUTE UHV采用雷尼紹革命性創(chuàng)新的非增量式光柵技術(shù)，通過一個(gè)適合在低達(dá)10 -10 Torr的超高真空條件下應(yīng)用的讀數(shù)頭充分發(fā)揮其技術(shù)優(yōu)勢。新的RESOLUTE UHV光柵系列的構(gòu)造有利于進(jìn)行殘余氣體分析 (RGA)而不會(huì)污染真空環(huán)境，非常適合性能高、半導(dǎo)體和科研等應(yīng)用領(lǐng)域。

頂部測量效率顯著提高

RESOLUTE的性能優(yōu)于其他所有為UHV環(huán)境設(shè)計(jì)的非增量式光柵。RESOLUTE的分辨率達(dá)到32位（直線光柵達(dá)到1 nm），速度達(dá)到36 000轉(zhuǎn)/分（直線光柵達(dá)到100 m/s），其超凡的技術(shù)指標(biāo)是光柵技術(shù)的一大新突破!

但RESOLUTE帶來的不僅僅是高速度……*的檢測技術(shù)還兼具內(nèi)在的超低電子細(xì)分誤差 (SDE) 和極低噪音（抖動(dòng)）特點(diǎn)。

頂部結(jié)果：

速度波動(dòng)穩(wěn)定性提高10倍

位置穩(wěn)定性提高10倍

可重復(fù)性提高10倍

電機(jī)產(chǎn)生的熱量減少

頂部降低損壞風(fēng)險(xiǎn)

RESOLUTE是一款真正的非增量式光柵，意味著開啟之后立即確定位置。

無需“開啟并晃動(dòng)”

無需備用電池

立即實(shí)現(xiàn)對(duì)軸控制

快速電機(jī)換向

保持高負(fù)載

例如，這些特點(diǎn)意味著在斷電后仍可以確保機(jī)器人對(duì)晶片進(jìn)行安全拾取操作。

頂部可靠性增強(qiáng)

RESOLUTE的中心技術(shù)消除了幾種與光柵反饋有關(guān)的很常見失效模式。每次讀數(shù)頭收到來自主控制器的請求時(shí)，RESOLUTE柵距圖像，以此確定絕dui位置。圖像包含高度冗余，而讀數(shù)頭應(yīng)用復(fù)雜的交叉檢查和錯(cuò)誤剔除，將定位精度保持在1 nm范圍內(nèi)。這種技術(shù)意味著不會(huì)發(fā)生計(jì)數(shù)錯(cuò)誤或者“丟數(shù)”情況。

此外，RESOLUTE采用內(nèi)置位置校驗(yàn)算法，在輸出之前主動(dòng)校驗(yàn)每個(gè)位置讀數(shù)，以便在任何潛在問題到達(dá)控制器之前就能及時(shí)提醒。同時(shí)它還可以監(jiān)測速度、信號(hào)狀態(tài)和溫度。

RESOLUTE使用純串行通信向控制器發(fā)送已校驗(yàn)的位置信息。根據(jù)RESOLUTE使用的所有協(xié)議，應(yīng)用CRC檢查，以便能夠檢測出傳輸過程中的數(shù)據(jù)損壞。

頂部直線光柵和圓光柵

RESOLUTE UHV提供一系列適合各種直線光柵和圓光柵應(yīng)用的柵尺。

頂部直線光柵選項(xiàng)

名稱

材料

類型

精度

長度

RELA

ZeroMet

具有極低CTE的柵尺

±1 μm

1.13 m

RSLA

不銹鋼

柵尺

長度1 m時(shí)精度±1.5 μm

長度2 m時(shí)精度±2.25 μm

長度3 m時(shí)精度±3 μm

長度5 m時(shí)精度±4 μm

5 m

RTLA

不銹鋼

配合FASTRACK使用的鋼帶柵尺

±5 μm/m

10 m

RTLA-S

不銹鋼

帶自帶不干膠的鋼帶柵尺

±5 μm/m

10 m

頂部圓光柵選項(xiàng)：

RESA圓柵具有低轉(zhuǎn)動(dòng)慣量和大通孔。尺寸從52 mm至550 mm。

REXA超高精度圓柵配用雙讀數(shù)頭使用時(shí)保證精度優(yōu)于±1角秒（在尺寸100 mm和更大的圓柵上）。尺寸從52 mm至550 mm。