PMMA正性光刻膠
PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)是一種通用的聚合材料,適用于許多成像和非成像微電子系統(tǒng)。PMMA光刻膠是將PMMA聚合物溶解在諸如苯甲醚之類的安全溶劑中,曝光會(huì)導(dǎo)致聚合物鏈斷裂。PMMA作直寫式電子束的高分辨率正性光刻膠,它具有的分辨率,易于處理和出色的薄膜特性。PMMA還可用作晶圓薄化的保護(hù)涂層,粘結(jié)粘合劑和刻蝕層。
材料用途:
| 材質(zhì)屬性:
|
共聚物光刻膠是基于PMMA和?8.5%甲基丙烯酸的混合物。共聚物MMA(8.5)通常與PMMA結(jié)合使用在雙層剝離抗蝕劑工藝中,該工藝需要獨(dú)立控制CD尺寸和每個(gè)光刻膠層的形狀。標(biāo)準(zhǔn)共聚物光刻膠是在乳酸乙酯中配制的,并且可以在很寬的膜厚范圍內(nèi)使用。




































岑溪市|
饶河县|
永平县|
永安市|
威海市|
清水县|
清远市|
伊宁市|
天等县|
巴彦淖尔市|
郯城县|
贡觉县|
讷河市|
滁州市|
长沙市|
东明县|
滨州市|
阿瓦提县|
孙吴县|
新密市|
禹州市|
澄迈县|
浏阳市|
陆川县|
海阳市|
鄂伦春自治旗|
木里|
蒙自县|
增城市|
通化市|
高雄县|
建始县|
新沂市|
洛川县|
当阳市|
海林市|
太白县|
突泉县|
丹寨县|
翁牛特旗|
芒康县|