描述

操作：

微橋氣體質(zhì)量流量傳感器的工作原理是熱傳遞。氣體質(zhì)量流量經(jīng)引導(dǎo)流過傳感元件的表面。輸出電壓與流過封裝進(jìn)出口的空氣或其他氣體質(zhì)量成正比。特殊設(shè)計(jì)的外殼精確地引導(dǎo)和控制氣流流過微結(jié)構(gòu)傳感元件。封裝的機(jī)械設(shè)計(jì)能夠輕松將其安裝在印刷電路板上。

微橋氣體質(zhì)量流量傳感器內(nèi)含一塊的基于*微結(jié)構(gòu)技術(shù)的硅芯片。該芯片采用薄膜和絕熱橋結(jié)構(gòu)，內(nèi)含加熱器和溫度傳感元件。橋結(jié)構(gòu)能夠快速靈敏地響應(yīng)流過芯片的空氣或其他氣體氣流。中心加熱元件兩側(cè)的雙傳感元件還能指示氣流流過的方向和速率。激光修正的厚膜和薄膜電阻保證了從每個(gè)傳感器之間始終具有一致的可互換性。

微橋氣體質(zhì)量流量傳感器利用包裹在氮化硅薄膜中的熱電阻。這些電阻呈懸浮狀態(tài)，在硅片的刻蝕腔上方形成兩座橋。芯片置于精確規(guī)格的氣流通道，提供可重復(fù)的流量響應(yīng)。通過在流量傳感橋下刻蝕空腔，發(fā)熱器和傳感電阻能實(shí)現(xiàn)高效的熱隔離。微橋式氣體質(zhì)量流量傳感器的小尺寸和熱隔離功能實(shí)現(xiàn)對(duì)氣流的極速響應(yīng)及高靈敏度。

惠斯通雙橋控制氣流測量——一個(gè)提供閉環(huán)發(fā)熱器控制，另一個(gè)包含雙傳感元件。加熱器電路通過提供與質(zhì)量流量成正比的輸出，地降低環(huán)境溫度變化導(dǎo)致的輸出變化。此電路可維持加熱器的溫度以高于環(huán)境溫度 (160 °C) 恒定溫差，而環(huán)境溫度則由芯片上的熱電阻測量得知。裝置的輸出與電源電壓成比例，也與惠斯通電橋電路的差分電壓相對(duì)應(yīng)。

注意：

地降低某些應(yīng)用中可能產(chǎn)生的灰塵污染的影響。經(jīng)過設(shè)計(jì)，氣流中可能存在的塵粒將平行于芯片表面流過芯片。另外，微結(jié)構(gòu)芯片產(chǎn)生的熱遷移效應(yīng)能移走橋結(jié)構(gòu)上的微米級(jí)塵粒。

可使用簡單的過濾網(wǎng)，防止粉塵附著在芯片邊緣和通道表面。在大多數(shù)應(yīng)用中，只要在氣流裝置的上游側(cè)串聯(lián)一只一次性的五微米過濾網(wǎng)，即可獲得充分的過濾效果。

警告：

產(chǎn)品損傷：AWM 系列微橋式氣體質(zhì)量流量傳感器不適用于測量液體流量，液體流過傳感器時(shí)會(huì)損壞傳感器。

不遵守這些說明可能會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品受損。

信號(hào)調(diào)節(jié)

放大

流量/壓力范圍

6.0 SLPM

調(diào)整點(diǎn)的輸出電壓

6.0 SLPM 時(shí)，5.0 Vdc ±0.15 Vdc

接口類型

岐管

系列名稱

AWM40000

整個(gè)溫度范圍內(nèi)的零位

±0.025 Vdc

輸出溫漂

±6% 讀數(shù)

流動(dòng)速率變化

5.0 SLPM/s

可重復(fù)性

±1% 讀數(shù)

零位

1 Vdc ±0.05 Vdc

響應(yīng)時(shí)間

典型值 1 ms，值 3 ms

電源電壓

最小值 8.0 Vdc，典型值 10.0 Vdc，值 15.0 Vdc

共模壓力

25 psi

功耗

75 mW

工作溫度

-25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F]

儲(chǔ)存溫度

-40°C 至 90°C [-40°F 至 194°F]

介質(zhì)兼容性

僅干燥氣體

重量

11 g

沖擊

100 g 峰值（5 次下降，6 軸）

貨源

備注

氮校準(zhǔn)