在高分辨率、受好評(píng)的FineSAT Ⅲ的基礎(chǔ)上,進(jìn)一步提高了分辨率 為提高分辨率,提高了以往使用的超聲波頻率。 在高頻化方面,超聲波在傳播介質(zhì)中的衰減越來越大,信噪 比降低的弊端變大,所以在檢查用途方面,300MHz前后是實(shí)用的*高頻率。 | ![]() |
300MHz頻率的超聲波,在*佳條件下,于5μm左右寬度的線型識(shí)別,對(duì)于正在應(yīng)用于*新LSI封裝的TSV、Cu柱等微細(xì)結(jié)構(gòu)體的檢查時(shí),可能無法適用。
FineSAT HR開發(fā)了新型電路、提高了分辨率,成功突破了這類超聲波檢查裝置的極限。
產(chǎn)品構(gòu)成:
| FS100ⅢHR | FS200ⅢHR | FS300ⅢHR | |
| 支持探頭頻率(MHz) | 5~75 | 5~140 | 5~300 |

































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