第 3 代通用規(guī)格
緊湊型光學元件:光源 142 x 80 x 60 毫米,探測器 110 x 80 x 60 毫米
簡單連接:+5V 墻上插頭電源、以太網和源檢測器鏈接電纜電動源偏振器:
– 提供自動儀器校準
– 實現區(qū)域平均測量,以提高測量精度
強度提高 4 倍(與原始 FS-1 相比)和更新的檢測器電子設備提供更高的測量精度:非原位 2 倍,原位 4 倍
FS-1 波長
FS-1™(第 3 代)橢偏儀
4 個波長,450 – 660 nm 光譜范圍(替代原來的 FS-1)
測量 0 – 2 μm 厚度范圍內的單層透明薄膜的選擇,精度低至 0.0004 nm
*美國zhuan利#9,354,118
FS-1EX™(第 3 代)橢偏儀
6 個波長,405 – 950 nm 光譜范圍
2 個較長的波長(850 和 950 nm)能夠測量較厚的透明薄膜(高達 5 μm)和吸收半導體薄膜(如多晶硅、SiGe、非晶硅等)
薄膜電阻率測量(使用 Drude 模型)也通過 2 個更長的波長得到改進。
6 個波長和更寬的光譜范圍為多層薄膜堆疊提供增強的測量能力
標準異地配置
65° 入射角。手動樣品加載和高度調整。
樣品尺寸可達 200 毫米直徑。和 20 毫米的厚度。
+/-2° 范圍內的樣品傾斜。
樣品上的光束尺寸:4 x 9 mm。
占地面積小 (180 x 400 mm),重量輕 (5 kg)。





























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