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薄膜測量系統(tǒng)

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時間2022-10-29
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 所在地區(qū)上海
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量43
  • 人氣值2022
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薄膜厚度折射率吸收系數(shù)
薄膜測量系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

介紹

薄膜測量系統(tǒng)TF-168采用非接觸式光學方式,測量多層光學薄膜/鍍層的厚度、折射率系數(shù)和吸收系數(shù)。

 

應用

光學器件上的介電鍍層,鍍膜的光學濾光片,晶圓上的半導體,液晶器件,多層聚合物薄膜

薄膜層如:SiO2, CaF2, MgF2, Photoresist, Polysilicon, Amorphous Silicon, SiNx, TiO2, Sol-Gel, Polyimide, Polymer

基底材料如:Silicon, Germanium, GaAs, ZnS, ZnSe, Acrylic, Sapphire, Glasses, Polycarbonate, Polymer, Quartz. 

 

規(guī)格參數(shù)

測量范圍

  20 nm-50 µm (只測厚), 100 nm - 10 µm (厚度 及 n & k)

可測層數(shù)

  多達4層

光斑大小

 0.8 mm - 4 mm可調(diào)

樣品大小

  >=1 mm

厚度準確度

± 1 nm 或 ±0.5%

重復精度

  0.1 nm

平臺大小

  7" x 7" (178 mm x 178 mm)

系統(tǒng)大小

  8" x 9.5" x 14"

 

系統(tǒng)包含如下:

*鹵鎢燈(360-2500 nm),SMA905接口

*USB微型光譜儀(350-1000 nm) ,SMA905接口

*硅片反射標準樣品

 

特點:

*桌面式集成一體化系統(tǒng)

*鹵鎢燈、USB微型光譜儀可通過光纖單獨接出來使用,用于其他光譜實驗

*基底折射率和吸收系數(shù)

*薄膜厚度測量,平均值和方差

*薄膜折射率和吸收系數(shù)

*自由選擇計算的波長范圍

*自由選擇預詁厚度范圍以減少計算時間

*方便從包含的數(shù)據(jù)庫中選擇薄膜和基底材料

*客戶自定義材料的選擇和導入

關鍵詞:光譜儀 標準
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