產(chǎn)品特點(diǎn)

體積小，操作方便，適用于桌面放置以及滿足上述規(guī)格

的晶圓。

晶圓減薄前貼膜性能：晶圓收益≥99.9%

貼膜質(zhì)量：沒有氣泡(不包括灰塵顆粒氣泡)

每小時(shí)產(chǎn)能：≥ 80片晶圓

更換產(chǎn)品時(shí)間：5min

規(guī)格參數(shù)

晶圓尺寸(英寸)： 4" 、 5" 、 6" 、 8" 、 12"

晶圓厚度： 300 - 750μm

晶圓種類：

晶圓材料：硅，砷化鎵或其他

晶圓工藝：?jiǎn)纹竭?，雙平邊，V型缺口

膠膜種類

膠膜材料：藍(lán)膜或UV膜

膠膜規(guī)格：長(zhǎng)度--100m;

                                          寬度--120 ~ 240mm;

                                          厚度--0.05 ~ 0.2mm;

貼膜原理：防靜電滾輪貼膜

貼膜動(dòng)作：自動(dòng)拉膜和貼膜

晶圓臺(tái)盤：通用(一體式)特氟龍防靜電涂層接觸式臺(tái)盤或硅膠臺(tái)盤或陶瓷臺(tái)盤

晶圓裝載方式：手動(dòng)放置與取出。

防靜電控制：防靜電特氟龍涂層晶圓臺(tái)盤/防靜電貼膜滾輪/除靜電離子發(fā)生器

切割系統(tǒng)

的手動(dòng)可調(diào)整環(huán)形切刀適用于不同的晶圓外形

刀頭帶獨(dú)立加熱機(jī)構(gòu)無任何飛邊，并省去修邊

的手動(dòng)直切刀設(shè)計(jì)，為省膜的設(shè)計(jì)；

晶圓定位：通用標(biāo)線/彈簧銷釘

安全防護(hù)：配置緊急停機(jī)按鈕

電源：AC 220V 10A