技術(shù)背景

X-Max Extreme是超高分辨率FEG-SEM應(yīng)用的一個(gè)突破性的解決方案。這種的探測(cè)器次實(shí)現(xiàn)EDS在超低電壓(例如1-3kV)及很短的工作距離條件下采集信號(hào)來進(jìn)行元素分析，而用戶通常在該條件下進(jìn)行納米材料或材料表面的形貌觀察。

**的超高分辨率FEG-SEM為研究更小尺度納米結(jié)構(gòu)、界面和表面提供了全新的解決方案。然而,在短工作距離、超低電壓和束流條件下，其雖然能夠在棱鏡內(nèi)探測(cè)器獲得電子信號(hào)，卻沒有響應(yīng)的能譜以進(jìn)行元素表征。**X-Max Extreme改變了這種狀況，它專為在這類參數(shù)條件下工作而設(shè)計(jì):

• 的幾何設(shè)計(jì)
  

為在更短的工作距離下工作而設(shè)計(jì)

為傳統(tǒng)側(cè)插能譜探頭設(shè)計(jì)的立體角——通常比X-MaxN150 立體角大5倍而傳感器到樣品距離僅為正常距離的一半

• 無窗下工作

結(jié)合立體角，相比其他大面積探頭，對(duì)低能X射線探測(cè)靈敏性可提高10-30倍

• 新的探頭電子器件極大地提高了極低能量X射線，同時(shí)擴(kuò)展了更高計(jì)數(shù)下的低能量分析性能

• AZtecEnergy與**低電壓Tru-Q分析引擎整合為一體，實(shí)現(xiàn)低電壓下數(shù)據(jù)處理及分析

為低電壓下的譜峰剝離而改進(jìn)的TruMap

為了實(shí)現(xiàn)這種的幾何設(shè)計(jì)，X-MaxExtreme非圓形100平方毫米傳感器和無窗的設(shè)計(jì)已經(jīng)成功地用于X-MaxN 100TLE，以優(yōu)化TEM中的靈敏度。除了探測(cè)器特性之外，小尺寸電子陷阱設(shè)計(jì)使得探測(cè)器可以在7kV電壓下工作。