一、概述
DZG200工業(yè)檢測顯微鏡適用于對工件表面的組織結構與幾何形態(tài)進行顯微觀察。采用優(yōu)良的無限遠光學系統(tǒng)與模塊化功能設計理念,可以方便升級系統(tǒng),實現(xiàn)偏光觀察、微分干涉觀察等功能,導柱升降裝置,可以快速調整工作臺與物鏡之間的距離,適用于不同厚度工件檢測。調焦機構采用圓柱滾子導向傳動,機構升降平穩(wěn)。產品適用于精密零件,集成電路,包裝材料等產品檢測。
二、主要技術參數(shù):
基 座 | 花崗巖立柱,穩(wěn)定性好,不會隨時間溫差而變形 |
立柱 | 花崗巖立柱,穩(wěn)定性好,不會隨時間溫差而變形 |
光學系統(tǒng) | 具有諧波分量的無限遠光學系統(tǒng) |
目 鏡 | 10X大視野廣角目鏡,視場數(shù)Ф22mm |
無限遠平場雙覆膜消色差物鏡 | 5X/0.12,工作距離8.4mm |
10X/0.25,工作距離9.3mm | |
20X/0.4,工作距離7.2mm | |
50X/0.7,工作距離2.5mm | |
目鏡筒 | 正像觀察,雙目瞳距調節(jié)范圍:53~75mm,可100%推拉攝影 |
調焦機構 | 手動粗微動同軸調焦, *小微動格值:0.002mm,粗動松緊可調,有效調焦范圍0~8mm,軸向平面內的垂直度不大于0.05mm。 |
轉換器 | 五孔明場轉換器(螺紋規(guī)格:M26X0.705) |
工作平臺 | 花崗巖平臺 |
*大有效移動范圍:200mmX100mm | |
縱橫向移動垂直度(3+L/200)μm | |
玻璃工作臺面與縱橫向移動平面的平行度在有效觀察范圍內不大于3μm(無負載測量) | |
*大承載重量不大于10千克 | |
導軌 | 線型防錯位精密導軌 |
絲桿 | 精密光桿 |
光柵尺 | 高精密(鑲入式)光柵 |
數(shù)據(jù)處理器 | 高清視頻采集系統(tǒng) |
數(shù)據(jù)處理器,可與計算機并行連接,同步光柵信號輸出 | |
工作電壓:220V 50/60HZ | |
照明裝置 | 落射照明采用12V50W鹵素燈,亮度及中心位置可調 |
落射照明器內置孔徑光闌、視場光闌、濾色片轉換裝置、微分干涉切換裝置,偏光觀察裝置 | |
透射照明采用高亮度白光LED燈,亮度可調 |






























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