奧林巴斯MX63/MX63L半導(dǎo)體檢測(cè)顯微鏡

現(xiàn)今智能手機(jī)產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展帶動(dòng)了包括半導(dǎo)體、平板顯示（FPD）、印制電路板（PCB）等整個(gè)電子制造業(yè)的飛速進(jìn)步。奧林巴斯新推出的MX63和MX63L工業(yè)檢測(cè)顯微鏡具備優(yōu)異的光學(xué)性能、適合大樣品的檢測(cè)、*的人體工學(xué)設(shè)計(jì)等諸多優(yōu)點(diǎn)將會(huì)有助電子制造行業(yè)的發(fā)展更上一層樓。

奧林巴斯MX63/MX63L半導(dǎo)體檢測(cè)顯微鏡具備有如下的特點(diǎn)：

模塊化：全面可定制

新MX63/MX63L顯微鏡的模塊化設(shè)計(jì)讓檢測(cè)者能夠根據(jù)應(yīng)用需要選擇組件。兩款顯微鏡均按潔凈室應(yīng)用而設(shè)計(jì)，并符合SEMI S2/S8、CE和UL要求。所有電動(dòng)組件均安裝在屏蔽結(jié)構(gòu)內(nèi)，鏡架、鏡筒以及其他部件均經(jīng)過(guò)防靜電處理。

人性化：滿(mǎn)足人體工學(xué)的設(shè)計(jì)

新MX63/MX63L顯微鏡采用人體工學(xué)設(shè)計(jì)，可以快速設(shè)置調(diào)整和簡(jiǎn)易控制。更換物鏡以及調(diào)整孔徑光闌的控制位于顯微鏡前面較低的位置，因此用戶(hù)在使用過(guò)程中可始終保持透過(guò)目鏡觀察而無(wú)須松開(kāi)對(duì)焦旋鈕。電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)旋轉(zhuǎn)迅速，在縮短檢測(cè)間隔時(shí)間的同時(shí)還可讓操作者的手始終在晶圓下方，降低可能存在的污染風(fēng)險(xiǎn)。 

憑借這些*的觀察功能和簡(jiǎn)單的操作特性，MX63/MX63L顯微鏡能夠?qū)崿F(xiàn)快速高效的實(shí)現(xiàn)大尺寸樣品檢測(cè)。

從不可見(jiàn)到可見(jiàn)：MIX觀察與采集

新MX63/MX63L顯微鏡是該系列*支持奧林巴斯MIX照明功能的產(chǎn)品，由此進(jìn)一步提升了該顯微鏡的觀察能力。MIX可將暗場(chǎng)與明場(chǎng)、熒光或偏振等其他觀察方法結(jié)合使用。在很多應(yīng)用中，MIX能夠幫助用戶(hù)觀察到使用傳統(tǒng)顯微鏡難以看到的缺陷。

長(zhǎng)壽命高強(qiáng)度白色LED照明：始終*的色溫

新MX63/MX63L顯微鏡配備了高強(qiáng)度白光LED光源，兼顧低功耗和長(zhǎng)壽命的優(yōu)點(diǎn)，而且其穩(wěn)定的色溫為可靠的圖像質(zhì)量和精確的色彩復(fù)現(xiàn)提供了保障。

功能性：適合所有晶園尺寸

特別適用于半導(dǎo)體、平板顯示、印制電路板等行業(yè)的大尺寸樣品檢測(cè)。MX63可用于zui大晶圓直徑200mm，MX63L可用于zui大晶圓直徑300mm。此外，新顯微鏡還可以選配晶園搬送機(jī)，實(shí)現(xiàn)可靠、安全、高效的對(duì)晶圓正面和背面進(jìn)行檢測(cè)。

利用HDR采集明亮區(qū)域和暗光區(qū)域

利用*的圖像處理技術(shù)，高動(dòng)態(tài)范圍(HDR)可在圖像內(nèi)調(diào)整亮度差異，以減少眩光。HDR改善了數(shù)字圖像的視覺(jué)品質(zhì)，從而有助于生
成具有專(zhuān)業(yè)級(jí)的報(bào)告。

快速尋找焦點(diǎn)：聚焦輔助

在光程內(nèi)插入聚焦輔助可以輕松無(wú)誤地實(shí)現(xiàn)諸如裸晶片之類(lèi)低對(duì)比度樣品的對(duì)焦。在焦平面上的網(wǎng)格對(duì)焦讓您的樣品對(duì)焦更加簡(jiǎn)單。

利用光強(qiáng)管理器和自動(dòng)孔徑控制實(shí)現(xiàn)快速觀察

對(duì)于常規(guī)顯微鏡，使用者每次觀察都需要調(diào)整光強(qiáng)度和孔徑。MX63系列讓使用者能夠針對(duì)不同的倍率和觀察方法設(shè)定光強(qiáng)和孔徑條件。這些能夠輕松調(diào)用的設(shè)置即可幫助使用者節(jié)省時(shí)間又可獲得優(yōu)良的圖像質(zhì)量。

人體工學(xué)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)更快、更舒適的操作

更換物鏡以及調(diào)整孔徑光闌的控制器位于顯微鏡前面較低的位置，因此使用者在使用過(guò)程中無(wú)須松開(kāi)對(duì)焦旋鈕或?qū)㈩^從目鏡上移開(kāi)。

從基本測(cè)量到高級(jí)分析

測(cè)量對(duì)于品質(zhì)、工藝控制和檢測(cè)非常重要。基于這一想法，即便入門(mén)級(jí)奧林巴斯Stream軟件包也包括交互測(cè)量功能的全部菜單，并且所有測(cè)量結(jié)果與圖像文件一起保存以便日后調(diào)用文檔。此外，奧林巴斯Stream材料解決方案可為復(fù)雜圖像分析提供直觀的工作流界面。點(diǎn)擊按鈕，圖像分析任務(wù)即可快速精準(zhǔn)完成?？纱蠓瓤s減重復(fù)性任務(wù)的處理時(shí)間，使操作人員的精力集中在檢測(cè)工作上。

高效的報(bào)告創(chuàng)建
創(chuàng)建報(bào)告所用的時(shí)間常常比采集圖像和測(cè)量還長(zhǎng)。奧林巴斯Stream軟件提供了直觀的報(bào)告創(chuàng)建功能，能夠根據(jù)預(yù)先設(shè)定的模板多次創(chuàng)建專(zhuān)業(yè)復(fù)雜的報(bào)告。編輯非常簡(jiǎn)單，報(bào)告可導(dǎo)出為MicrosoftWord或PowerPoint文件。此外，奧林巴斯Stream報(bào)告功能能夠?qū)Σ杉膱D像進(jìn)行數(shù)碼變焦和倍率放大。報(bào)告文件大小適中，通過(guò)電子郵件進(jìn)行數(shù)據(jù)傳遞更加方便。

獨(dú)立相機(jī)選項(xiàng)
測(cè)量對(duì)于品質(zhì)、工藝控制和檢測(cè)非常重要?；谶@一想法，即便入門(mén)級(jí)奧林巴斯Stream軟件包也包括交互測(cè)量功能的全部菜單，并且所有測(cè)量結(jié)果與圖像文件一起保存以便日后調(diào)用文檔。此外，奧林巴斯Stream材料解決方案可為復(fù)雜圖像分析提供直觀的工作流界面。點(diǎn)擊按鈕，圖像分析任務(wù)即可快速精準(zhǔn)完成?？纱蠓瓤s減重復(fù)性任務(wù)的處理時(shí)間，使操作人員的精力集中在檢測(cè)工作上。使用DP22或DP27顯微鏡相機(jī)的MX63系列是一套*的獨(dú)立系統(tǒng)。該相機(jī)采用幾乎不占空間的緊湊型控制盒控制，在采集清晰圖像以及進(jìn)行基本測(cè)量工作的同時(shí)讓實(shí)驗(yàn)室空間得到充分利用。

直觀的顯微鏡控制：舒適且使用方便

顯微鏡設(shè)置操作簡(jiǎn)單，讓用戶(hù)調(diào)整和再調(diào)用系統(tǒng)配置更加輕松。