Park Systems 原子力顯微鏡NX-10

儀器簡介:

    測量結(jié)果的準(zhǔn)確程度對科研工作者來說是至關(guān)重要的。為了更好的服務(wù)于科學(xué)界，Park推出了這款zui準(zhǔn)確的NX-10型原子力顯微鏡。該儀器具備高速的伺服響應(yīng)能力，超高的掃描器線性度，極低的閉環(huán)檢測器噪聲水平，和zui小的系統(tǒng)熱漂移量。作為一款界面友好，操作簡單的儀器，NX-10會成為新老用戶的好伙伴。

Park Systems 原子力顯微鏡NX-10技術(shù)參數(shù)：

掃描器

XY掃描器

柔性制導(dǎo)閉環(huán)控制單模塊掃描器

掃描范圍50μm*50μm（可選10μm*10μm ，100μm*100μm）

平面偏移度:<2nm（全量程掃描）

Z掃描器

柔性制導(dǎo)強(qiáng)力掃描器

掃描范圍15μm（可選30μm）

定位檢測噪聲：0.03nm（帶寬：1kHz）

共振頻率：>9kHz

表面成像噪聲：<0.03nm（標(biāo)準(zhǔn)值 0.02nm）

樣品臺

樣品尺寸： 50mm*50mm*20mm

樣品重量：zui大500g

樣品臺移動范圍：20mm*20mm

主要特點(diǎn)：

一、準(zhǔn)確成像， 無交叉耦合現(xiàn)象

●業(yè)界的XYZ軸線性度，樣品和探針分別由獨(dú)立的柔性制導(dǎo)掃描器控制移動

●zui低的平面偏移度，全程水平掃描時平面偏移量不超過1納米

●垂直掃描器全程伸縮時，線性度優(yōu)于0.015%

●優(yōu)化水平掃描器Ringing現(xiàn)象，科學(xué)的正向sine-scan算法

二、準(zhǔn)確掃描，真正的非接觸模式

●業(yè)界的垂直掃描器，帶寬超過9kHz，垂直伺服響應(yīng)速度超過62mm/s

●非接觸模式下zui快的掃描速度

●極低的探針磨損，能夠保證長時間的高質(zhì)量掃描

●極低的樣品損傷

三、準(zhǔn)確測量，真正的樣品形貌

●采用業(yè)界的低噪聲檢測器測量樣品形貌

●業(yè)界的極小正反測量偏離量，小于0.15%

●采用優(yōu)化的散熱部件，極大地降低了系統(tǒng)熱票移和遲滯現(xiàn)象

●功能*的*隔音罩，艙體內(nèi)部主地控溫

四、用戶工作效率

●開放式的設(shè)計(jì)，方便更換探針和樣品

●探針預(yù)定位裝夾設(shè)計(jì)，簡單便鍵的測量激光調(diào)節(jié)過程，具有的自上主下

五、直視光路系統(tǒng)

●創(chuàng)新的“十秒進(jìn)針”功能，探針可自動高速完成進(jìn)針操作

●24位數(shù)字電控箱，三組內(nèi)置鎖存放大樓，具備Q-control和彈性常數(shù)校準(zhǔn)準(zhǔn)功能