有機(jī)材料熱蒸鍍設(shè)備 OLED, OPV
有機(jī)金屬熱沉積系統(tǒng)是一種熱蒸發(fā)的方式, 用于將有機(jī)或金屬材料沉積到基板表面上. 該過程需要通過準(zhǔn)確控制溫度和沉積速率來實(shí)現(xiàn)薄膜的高精度和均勻性. 為了達(dá)到此要求, 有機(jī)材料熱沉積系統(tǒng)使用高精準(zhǔn)熱蒸發(fā)源作為加熱源, 并使用金屬, 石英, 陶瓷或 PBN 坩堝來容納有機(jī)材料以及 PID 控制器來控制其沉積速率.

上海伯東針對薄膜封裝推出電漿輔助式化學(xué)氣相沉積, 原子層沉積和聚對二甲苯沉積等三種設(shè)備, 且使用低溫的沉積技術(shù), 分別在 OLED 上堆疊多層薄膜, 廣泛應(yīng)用于有機(jī)發(fā)光二極體, 有機(jī)光伏打電池和材料科學(xué)研究.

上海伯東有機(jī)材料熱蒸鍍設(shè)備配置和優(yōu)點(diǎn)
客制化的基板尺寸, zui大直徑為 12寸晶圓或 470 x 370 mm
優(yōu)異的薄膜均勻度小于 ±3%
用于有機(jī)材料的蒸發(fā)源（可用金屬、陶瓷、石墨或 PBN 坩堝）
鍍率自動(dòng)控制: 最小值為 0.01?/s
蒸發(fā)源溫度控制可達(dá)到精度 ±0.1
具有順序操作或共沉積的多個(gè)蒸發(fā)源
用 CCD 對位將玻璃基板和遮罩的位置對準(zhǔn)在±5μm 以內(nèi)
每個(gè)蒸發(fā)源和基材均有安裝遮板和百葉窗

有機(jī)材料熱蒸鍍設(shè)備腔體和選件
腔體的極限真空度約為 -10, 由 304不銹鋼所制成, 通過外部焊接 304不銹鋼管線對腔體進(jìn)行水冷. 寬大的前開式門, 并有兩個(gè)視窗和視窗遮版用于觀察基材和蒸發(fā)源. 一個(gè)熱蒸發(fā)腔體內(nèi), 最多可容納 12組熱蒸發(fā)源. 設(shè)備可以與傳送腔, 機(jī)械手臂和手套箱整合在一起, 搭配使用殘留氣體分析儀.

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上海伯東: 羅先生