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主動(dòng)隔振平臺(tái)系統(tǒng)

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  • 型號(hào)
  • 品牌其他品牌
  • 所在地上海市
  • 更新時(shí)間2025-04-08
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 入駐年限第7年
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量578
  • 人氣值338324
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       上海倍藍(lán)光電科技有限公司成立于2012年,是一家年輕而又富有生命力的公司,公司負(fù)責(zé)人于立民擁有中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械研究所應(yīng)用光學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室光學(xué)專業(yè)碩士學(xué)位,同時(shí)擁有中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所航天遙感室物理電子學(xué)專業(yè)博士學(xué)位。曾就職于Labsphere Inc.(藍(lán)菲光學(xué))公司擔(dān)任該公司亞太區(qū)技術(shù)總監(jiān),負(fù)責(zé)亞洲區(qū)域內(nèi)客戶解決方案的制定及技術(shù)支持。在供職期間,主導(dǎo)并設(shè)計(jì)了多項(xiàng)難度大、技術(shù)復(fù)雜的定制項(xiàng)目,如大口徑空間相機(jī)輻射定標(biāo)系統(tǒng)、弱光紫外空間相機(jī)輻射定標(biāo)系統(tǒng)、單波長(zhǎng)可調(diào)諧均勻光源系統(tǒng)、高精度多光譜輻亮度標(biāo)定系統(tǒng)(輻照度標(biāo)準(zhǔn)燈-漫反射板系統(tǒng))、醫(yī)用內(nèi)窺鏡檢測(cè)系統(tǒng)(依據(jù)YY0068.1-2008)、顯示器ACR(環(huán)境對(duì)比度)測(cè)量系統(tǒng)等多個(gè)高難度、高復(fù)雜度的定制系統(tǒng)。后帶領(lǐng)一支具有豐富的儀器設(shè)備開發(fā)、使用維護(hù)經(jīng)驗(yàn)的工程師和商務(wù)人員成立倍藍(lán)光電科技有限公司。
    公司專注于光電領(lǐng)域儀器設(shè)備的定制開發(fā)、代理銷售與系統(tǒng)集成業(yè)務(wù)包括儀器設(shè)備的維修和周邊產(chǎn)品的銷售,為國(guó)內(nèi)科研及制造業(yè)用戶提供全面的服務(wù)。公司致力于引進(jìn)上先進(jìn)的產(chǎn)品、先進(jìn)的技術(shù)*定制服務(wù),向客戶提供*的服務(wù)、*的產(chǎn)品、*的售后服務(wù)。幫助客戶解決在科研、生產(chǎn)中遇到的問題。
    公司在代理和銷售光電設(shè)備的同時(shí)并提供基于各種光電設(shè)備的拓展應(yīng)用和OEM研發(fā)。我們?cè)诠怆娦袠I(yè)有著多年的工作經(jīng)驗(yàn)和實(shí)際操作方案,積累了大量的應(yīng)用和研發(fā)實(shí)例,為客戶提供一站式的解決方案。

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主動(dòng)隔振平臺(tái)系統(tǒng),采用先進(jìn)的慣性振動(dòng)傳感器、先進(jìn)的控制算法和壓電致動(dòng)器,通過連續(xù)測(cè)量地面活動(dòng),然后擴(kuò)展和收縮壓電致動(dòng)器來過濾地面運(yùn)動(dòng),以實(shí)時(shí)消除振動(dòng)。
主動(dòng)隔振平臺(tái)系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

STACIS® III是一種靈活主動(dòng)隔振系統(tǒng)。STACIS采用先進(jìn)的慣性振動(dòng)傳感器、先進(jìn)的控制算法和壓電致動(dòng)器,通過連續(xù)測(cè)量地面活動(dòng),然后擴(kuò)展和收縮壓電致動(dòng)器來過濾地面運(yùn)動(dòng),以實(shí)時(shí)消除振動(dòng)。

 

STACIS**初設(shè)計(jì)用于隔離先進(jìn)半導(dǎo)體工廠中的精密微光刻、計(jì)量和檢測(cè)設(shè)備,現(xiàn)已成為嘈雜環(huán)境(包括但不限于半導(dǎo)體工廠、失效分析實(shí)驗(yàn)室、納米技術(shù)研究、納米制造設(shè)施和材料研究中心)中**敏感儀器的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)解決方案。

 

STACIS III包括一個(gè)全新的改進(jìn)型數(shù)字控制器DC-2020。這款全新的**控制系統(tǒng)在前后面板上采用了新的雙核處理器、以太網(wǎng)以及USB串行端口,為用戶提供了現(xiàn)代化且易于使用的圖形用戶界面(GUI)。STACIS在全球已擁有數(shù)百個(gè)成功的安裝案例,是理想的隔振系統(tǒng),適用于對(duì)振動(dòng)**為敏感的儀器。

 

<strong>主動(dòng)隔振平臺(tái)系統(tǒng)</strong>(圖1)

 

主動(dòng)隔振平臺(tái)系統(tǒng)STACIS III的優(yōu)勢(shì)

STACIS比空氣隔振器硬數(shù)百倍,沒有任何空氣隔振系統(tǒng)的局限性。它沒有“軟”懸架,與主動(dòng)空氣系統(tǒng)不同,STACIS可以放置在帶有內(nèi)部主動(dòng)空氣隔振系統(tǒng)的工具下方,使兩個(gè)系統(tǒng)都在**狀態(tài)下運(yùn)行。

 

串行設(shè)計(jì)和專有的高力壓電技術(shù),可實(shí)現(xiàn)0.6 Hz***150 Hz的寬主動(dòng)帶寬和從2 Hz開始減振90%的**主動(dòng)隔振性能。

 

主動(dòng)隔振平臺(tái)系統(tǒng)STACIS III特征

? **新改進(jìn)型DC-2020數(shù)字控制器,提供易于使用的圖形用戶界面

? 隔振開始于0.6赫茲,1Hz時(shí)達(dá)到40%***70%的隔離率

? 頻率2赫茲和更高時(shí),垂直和水平隔振率大于90%

? 降低基礎(chǔ)設(shè)施的要求和建設(shè)成本,即使有較大外界震動(dòng)設(shè)備也可正常運(yùn)行

? 有效隔振范圍,0.6Hz到150Hz

? 獲得眾多用戶的廣泛認(rèn)可和肯定

? 6向自由度硬安裝設(shè)計(jì),無需空氣懸架

? *的控制系統(tǒng)無需定期重新校準(zhǔn)

? point-of-use設(shè)計(jì)方案,與客戶現(xiàn)有隔振系統(tǒng)無縫兼容

? 隨著外部環(huán)境改變,系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)節(jié)以適應(yīng)不同外部震動(dòng)情形

? TMC的STACIS®技術(shù)使用壓電執(zhí)行器主動(dòng)消振

? 數(shù)字控制器與基于PC的圖形用戶界面(GUI)

? 提高客戶產(chǎn)品產(chǎn)量、質(zhì)量、成品率。

? 符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)

? **寬的主動(dòng)隔振帶寬,**的低頻隔振效果

? 亞赫茲的主動(dòng)震動(dòng)消除,**主要在0.6-6Hz頻段內(nèi)的隔振

? 可堆疊式設(shè)計(jì)

? 主動(dòng)硬式安裝結(jié)構(gòu)、而非軟式懸浮、無低頻漂移、主動(dòng)元件與剛性彈簧相連

? 被動(dòng)彈簧濾除了來自STACIS傳感器的負(fù)載諧振,需要的調(diào)諧非常少,甚***無需調(diào)諧

? 由于阻抗不匹配,可兼容儀器內(nèi)部隔離器

? 負(fù)載可達(dá)2000kg

? 市場(chǎng)上**的主動(dòng)隔振系統(tǒng)

 

主動(dòng)隔振平臺(tái)性能

<strong>主動(dòng)隔振平臺(tái)系統(tǒng)</strong>(圖2)

使用VC-C(500 μ英寸/秒,12.5 μ米/秒 RMS)的模擬振動(dòng)來測(cè)試4500磅(2045千克)有效載荷

 

主動(dòng)隔振平臺(tái)規(guī)格

性能規(guī)格

主動(dòng)自由度6
主動(dòng)帶寬0.6 Hz - 150 Hz
被動(dòng)固有頻率18 Hz垂直和水平
有效的主動(dòng)共振頻率0.5 Hz
1 Hz時(shí)的隔振40% - 70%
≥2 Hz時(shí)的隔振≥90%
10磅(4.5千克)步進(jìn)輸入后的穩(wěn)定時(shí)間(減少10:1)0.3秒
內(nèi)部噪音<0.1 nm RMSd>
每個(gè)隔振器的工作負(fù)載范圍低承重能力:400 - 1100磅(181 - 499千克)
中等承重能力:900 - 2100磅(408 - 953千克)
高承重能力:1900 - 4500磅(862 - 2041千克)
剛度(1000磅 / 454千克質(zhì)量、中等承重能力隔振器)40,000磅/英寸(73 x 105牛/米)
從距離隔振器**4英寸(102毫米)處發(fā)射的磁場(chǎng)<0.02 μG broadband RMSd>


 隔振器設(shè)計(jì)、尺寸、環(huán)境和效用要求

環(huán)境和安全符合CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn)
主動(dòng)隔振元件**小承重能力為3300磅(1500千克)的壓電致動(dòng)器接收來自高壓放大器的信號(hào),其輸出高達(dá)800 VDC。垂直執(zhí)行器支撐隔振的有效載荷
被動(dòng)隔振元件單個(gè)硬質(zhì)各向同性彈性體(無需壓縮空氣源)
振動(dòng)傳感器元件向下的地震檢波器型慣性傳感器,用于測(cè)量隔振器下方的地面振動(dòng),并提供與振動(dòng)運(yùn)動(dòng)速度成正比的電壓
主動(dòng)反饋控制回路在支撐隔振表面的彈簧下方測(cè)量、處理和衰減地面振動(dòng)
隔振器尺寸(寬 x 深 x 高)11.75 x 12.5 x 10.8英寸 300 x 320 x 275 mm
隔振器重量75磅(34千克)
工作溫度50° - 90°F
       10° - 32°C
儲(chǔ)存溫度-40° - 130°F
       -40° - 55°C
濕度30 - 60%
系統(tǒng)電源要求100、120、230、240 VAC
       50/60 Hz AC; <600 W
       符合CE標(biāo)準(zhǔn)
地面位移<480 μin. (12 μm) below 10 Hzd>
每個(gè)系統(tǒng)的隔振器數(shù)量***少3個(gè)
可選附件層壓不銹鋼平臺(tái)、框架、立管、調(diào)平裝置、抗震裝置、提升罩


 DC-2020控制器規(guī)格

尺寸(寬 x 深 x 高)19 x 8.5 x 1.75英寸
       483 x 216 x 45 mm
重量6.3磅(2.9千克)
處理器150/75 MHz雙核
采樣率10 kHz
模擬輸出16個(gè)通道
模擬輸入16個(gè)通道
狀態(tài)燈單個(gè)LED
前面板端口1個(gè)串行USB 2.0
       1個(gè)串行Micro-USB
       1個(gè)以太網(wǎng)RJ-45
       2個(gè)BNC
后面板端口1個(gè)串行USB 2.0
       1個(gè)以太網(wǎng)RJ-45
       1個(gè)RS-232 DB-9傳統(tǒng)串行,用于傳統(tǒng)的STACIS 2100隔振器
用戶界面前面板液晶顯示屏
       超級(jí)終端上的字符菜單
       適用于Microsoft Windows的擴(kuò)展GUI
       嵌入式以太網(wǎng)GUI


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