高分辯衍射儀儀器簡介：

X'Pert PRO MRD/XL是高級半導體材料的標準裝備，用于： 高級材料科學和納米技術，半導體材料研究和生產質量控制，可以適用各種應用，尤其適合薄膜分析，例如： 搖擺曲線分析和倒易空間Mapping， 反射率和薄膜相分析，殘余應力和織構分析， X'Pert PRO MRD/ XL 高分辯衍射儀滿足半導體、LED、薄膜和高級工業(yè)材料的所有高分辨XRD分析需要。XL可以滿足直徑達 300 mm的晶片分析，并有精密的自動晶片裝載選擇；XL成為薄膜生產發(fā)展的*的分析手段，LED的業(yè)界標準。

可以適用各種應用，尤其適合薄膜分析，例如：
振動曲線分析和交互空間圖
反射儀和薄膜相分析
殘余應力和織構分析

同已經證明的標準版本系統(tǒng)一樣，還有許多專門的版本：

X'Pert PRO MRD平面衍射系統(tǒng)，可以測量與樣品表面垂直的晶格衍射
X'Pert PRO Extended MRD 允許裝備 X射線鏡像和在線高分辨單色器，增強入射光束的強度。
X'Pert PRO MRD XL 滿足半導體，薄膜和高級工業(yè)材料的所有高分辨XRD分析需要。