本裝置用于電離真空計、熱偶真空計、薄膜真空、復合真空計、標準漏孔等真空儀器的檢定。
功 能
◆ 實現(xiàn)真空自動控制;
◆ 真空極限壓力為5×10-5Pa
◆ 在0.1Pa~100kPa之間儀器能實現(xiàn)自動控制;
◆ 可自動校準真空計零點;
◆ 可根據(jù)測試點自動切換真空標準器;
◆ 可實現(xiàn)單點控制,步距控制;
◆ 可通過面板控制設置的測試點;
技術指標
◆ 型 號:VTS-2
◆ 測量范圍:5×10-5Pa~1kPa;5×10-5Pa~100kPa
◆ 極限真空:5×10-5Pa
◆ 控制范圍:1×10-2Pa~1kPa; 1×10-2Pa~100kPa;
◆ 示值誤差:a) 測量范圍:5×10-5Pa~0.001Pa;示值誤差:<30%RDG;
b) 測量范圍:0.001Pa~100kPa; 示值誤差: <0.2%RDG;
◆ 壓力接口:1路KF16接口;
◆ 電源要求:AC(220±10%)V 50Hz;
◆ 環(huán)境要求:工作溫度:0℃~40℃;



































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