住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池,通過電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成,以防止金屬污染達(dá)到極低水平。臭氧濃度超過400g/(n),是市場上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。
住友臭氧發(fā)生儀
住友臭氧發(fā)生儀應(yīng)用:
半導(dǎo)體器件
Si/復(fù)合晶圓
FDP(LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED)
光罩
發(fā)光二極管
住友臭氧發(fā)生儀具體信息:
| SGRP-03JS |
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| 臭氧氣體流速 | 350g/m3(N) | |
| 臭氧氣體供應(yīng)壓力 | 15L/min (5L/min x 3Line) | |
| 冷卻水溫度 |
| |
| 尺寸 | W570mm x D850mm x H1,870mm | |
| 重量 | 360kg | |
| 功率 | 200-220VAC, 3-phase |
| SGRF-03JA |
| |
| 臭氧氣體流速 | 400g/m3(N) | |
| 臭氧氣體供應(yīng)壓力 | 20L/min | |
| 冷卻水溫度 |
| |
| 尺寸 | W570mm x D850mm x H1,836mm | |
| 重量 | 350kg | |
| 功率 | 200-220VAC, 3-phase |
優(yōu)勢:能夠通過單獨(dú)控制向大容量臭氧氣體提供一條管線或多條管線。
高濃度;高達(dá)400g/m3(N)
產(chǎn)品線豐富;小到大容量。
高壓;*大0.3Mpa(SGRP系列)
無氮摻雜(SGRF系列)
高壓耐受,長壽命放電單元
快速啟動,快速響應(yīng)
與臭氧監(jiān)測儀(閉環(huán)控制)集成的穩(wěn)定濃度
CE、NRTL、半標(biāo)準(zhǔn)適用
管道材料;從316LSS或PFA中選擇




































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