住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池,通過電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成,以防止金屬污染達(dá)到極低水平。臭氧濃度超過400g/(n),是市場上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。
住友臭氧發(fā)生儀
住友臭氧發(fā)生儀應(yīng)用:
半導(dǎo)體器件
Si/復(fù)合晶圓
FDP(LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED)
光罩
發(fā)光二極管
具體信息:
| 臭氧氣體流速 | 210g/?(N) | |
| 臭氧氣體供應(yīng)壓力 | 1L/min~14L/min | |
| 冷卻水溫度 |
| |
| 尺寸 | W483× H266× D454 | |
| 冷卻水流量表 | 1~10L/min | |
| 功率 | AC200V 3-phase |
優(yōu)勢
19英寸機(jī)架尺寸標(biāo)準(zhǔn)型號
內(nèi)部氣體流量和壓力傳感器
19英寸背包尺寸
與臭氧監(jiān)測儀(閉環(huán)控制)集成的穩(wěn)定濃度
高壓耐受,長壽命放電單元
快速啟動,快速響應(yīng)




































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