住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池,通過(guò)電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成,以防止金屬污染達(dá)到極低水平。臭氧濃度超過(guò)400g/(n),是市場(chǎng)上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過(guò)程中受到了眾多客戶的高度重視。
住友臭氧發(fā)生儀
應(yīng)用:
半導(dǎo)體器件
Si/復(fù)合晶圓
FDP(LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED)
光罩
發(fā)光二極管
具體
| 溶解臭氧濃度 | 5 to 30ppm |
| 臭氧化超純水流量 | 1 to 60L/min |
| 原料氣 | 氧氣、二氧化碳 |
| 功率 | 200-220VAC, 3-phase |
優(yōu)勢(shì):
根據(jù)所需流量改變流量。(降低超純水消耗量)
多室電源
采用噴射溶解法快速反應(yīng)。
與臭氧監(jiān)測(cè)儀(閉環(huán)控制)集成的穩(wěn)定濃度
無(wú)氮臭氧水
運(yùn)行成本低(功耗低,易損件數(shù)量少,放電單元壽命長(zhǎng))
高壓耐受,長(zhǎng)壽命放電單元
關(guān)閉期間免維護(hù)




































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