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RGA100/200/300-100、200及300原子量殘余氣體分析儀

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  • 所在地北京市
  • 更新時(shí)間2023-03-13
  • 廠商性質(zhì)其他
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·100, 200或300原子量·分辨率優(yōu)于1原子單位(amu)·6個(gè)數(shù)量級動(dòng)態(tài)范圍·5×10-14 Torr檢測限·RGA Windows & LabVIEW軟件·支持探頭操作·現(xiàn)場可更換的燈絲和離化器·RS-232 界面
RGA100/200/300-100、200及300原子量殘余氣體分析儀 產(chǎn)品詳情
商品描述

·100, 200或300原子量

·分辨率優(yōu)于1原子單位(amu)

·6個(gè)數(shù)量級動(dòng)態(tài)范圍

·5×10-14 Torr檢測限

·RGA Windows & LabVIEW軟件

·支持探頭操作

·現(xiàn)場可更換的燈絲和離化器

·RS-232 界面



RGA 系列殘余氣體分析儀

SRS 的 100、200 和 300 amu 殘余氣體分析儀提供的性能和價(jià)值。這些 RGA 提供真空系統(tǒng)的詳細(xì)氣體分析,價(jià)格僅為競爭型號的一半。每個(gè) RGA 系統(tǒng)都配有一個(gè)四極桿探頭、電子控制單元 (ECU) 和一個(gè)用于數(shù)據(jù)采集和分析以及探頭控制的實(shí)時(shí) Windows 軟件包。

堅(jiān)固的探頭設(shè)計(jì)

電子倍增器

探頭由離子發(fā)生器、四極濾質(zhì)器和檢測器組成。簡單的設(shè)計(jì)具有少量零件,可限度地減少放氣并減少將雜質(zhì)引入真空系統(tǒng)的機(jī)會(huì)。探頭組件堅(jiān)固耐用,可安裝在標(biāo)準(zhǔn)2 ? 英寸CF 法蘭上。它被不銹鋼管覆蓋,但離子發(fā)生器除外,它在您的真空系統(tǒng)中只需要 2 ? 英寸的間隙——大約是標(biāo)準(zhǔn)離子計(jì)的間隙。探頭采用自對準(zhǔn)部件設(shè)計(jì),因此可以在清潔后輕松重新組裝。

緊湊型電子控制單元

密集封裝的 ECU 包含用于控制 RGA 頭的所有必要電子設(shè)備。它由外部 +24 VDC (2.5 A) 電源或插入交流電源插座的可選內(nèi)置電源模塊供電。LED 指示燈提供有關(guān)電子倍增器、燈絲、電子系統(tǒng)和探頭狀態(tài)的即時(shí)反饋。ECU 可以很容易地從探頭上拆下,以進(jìn)行高溫烘烤。

的燈絲設(shè)計(jì)

長壽命的雙釷銥 (ThO 2 /Ir) 燈絲用于電子發(fā)射。雙 ThO 2 /Ir燈絲的使用壽命比單燈絲長得多,從而限度地延長了燈絲更換之間的時(shí)間。與其他設(shè)計(jì)不同,SRS 燈絲可以在幾分鐘內(nèi)由用戶更換。

雙釷銥絲

電子倍增器

法拉第杯探測器是 SRS RGA 系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)配置,可以測量10 -5到 5 × 10 -11  Torr的分壓。為了提高靈敏度和更快的掃描速率,提供了一個(gè)可選的電子倍增器,可檢測低至5 × 10 -14  Torr的分壓。這種的宏多通道連續(xù)打拿極電子倍增器 (CDEM) 提供更長的壽命和穩(wěn)定性,并且也可以由用戶更換 - 這是 RGA 的!

加熱套

O100HJRW 加熱器護(hù)套配有 Watlow EHG SL10 過程控制器,可提供 210 °C (±3 °C) 的預(yù)編程溫度。加熱器護(hù)套采用 PTFE (Teflon) 結(jié)構(gòu)制成,由于其低釋氣和無顆粒操作,適用于潔凈室應(yīng)用。O100HJRW 提供 120 VAC 和 220 VAC 版本,并隨附目的地國家/地區(qū)的電源線。

加熱套

有用的功能

所有 RGA 都具有內(nèi)置的脫氣功能。使用電子沖擊解吸,清潔離子源,大大降低了離子發(fā)生器對背景噪聲的影響。

固件驅(qū)動(dòng)的燈絲保護(hù)功能持續(xù)監(jiān)控(675 Hz)過壓。如果檢測到過壓,燈絲會(huì)立即關(guān)閉,以保持其使用壽命。

的溫度補(bǔ)償對數(shù)靜電計(jì)在單次掃描中檢測10 -7至 10 -15 安培的離子電流,精度優(yōu)于 2%。這個(gè)巨大的動(dòng)態(tài)范圍意味著您可以同時(shí)測量小氣體濃度和大氣體濃度。

可編程性

通過RS-232接口與計(jì)算機(jī)進(jìn)行通信。模擬和直方圖(條形圖)掃描、泄漏檢測和探頭參數(shù)都通過高級命令集進(jìn)行控制和監(jiān)控。這允許輕松集成到現(xiàn)有程序中。

RGA 視窗軟件

壓力與時(shí)間模式

RGA 系統(tǒng)由在 PC 上運(yùn)行的實(shí)時(shí) Windows 軟件包提供支持。直觀的圖形用戶界面允許快速輕松地進(jìn)行測量。該程序是交互式的,使用戶可以控制圖形顯示。可拆分屏幕進(jìn)行雙模式操作,刻度可設(shè)置為線性或?qū)?shù)格式,數(shù)據(jù)可手動(dòng)或自動(dòng)縮放。實(shí)時(shí)捕獲和顯示數(shù)據(jù),或計(jì)劃在給定的時(shí)間間隔內(nèi)采集數(shù)據(jù),以進(jìn)行長期數(shù)據(jù)記錄。功能包括用戶可選擇的單位(Torr、mbar、Pa 和 A)、可編程的音頻和視覺警報(bào)以及全面的在線幫助。

該軟件還允許通過簡單的質(zhì)量標(biāo)度調(diào)整、靈敏度校準(zhǔn)、離子發(fā)生器設(shè)置和電子倍增器增益調(diào)整實(shí)現(xiàn)完整的 RGA 磁頭控制。為了進(jìn)一步分析,可以將數(shù)據(jù)文件保存為 ASCII 格式,以便輕松傳輸?shù)诫娮颖砀裰小?/span>圖形圖像可以保存為 META 文件或復(fù)制到剪貼板以直接導(dǎo)入其他 Windows 程序。該軟件還為鎖定頭部參數(shù)提供密碼保護(hù),使臨時(shí)用戶無法更改重要設(shè)置。SRS 網(wǎng)站上還提供了 LabVIEW 驅(qū)動(dòng)程序。

圖書館模式

可選的獨(dú)立監(jiān)視器 (PPM100) 可用于在沒有主機(jī)的情況下控制 RGA。

多頭操作

當(dāng)需要多個(gè) RGA 時(shí),該軟件支持多頭操作。該軟件最多可監(jiān)控 8 個(gè) ECU。

性能和價(jià)值

SRS 系列 RGA 非常適合涉及氣體分析、泄漏檢測和真空處理的應(yīng)用。我們提供 100、200 和 300 amu 系統(tǒng),支持 Windows 軟件和選項(xiàng),包括電子倍增器和用于交流線路操作的內(nèi)置電源模塊。




RGA 系列規(guī)格


操作


質(zhì)量范圍

   RGA1001 到 100 amu

   RGA2001 到 200 amu

   RGA3001 至 300 amu

質(zhì)量過濾器類型四極桿

探測器類型法拉第杯 - 標(biāo)準(zhǔn)。

電子倍增器 - 選擇。

解決優(yōu)于 0.5 amu @ 10 % 峰高(根據(jù) AVS 標(biāo)準(zhǔn) 2.3)。在整個(gè)質(zhì)量范圍內(nèi)可調(diào)至恒定峰寬。

靈敏度 (A/Torr)2 × 10 -4 (FC),<200 (EM)。

用戶可在整個(gè)高壓范圍內(nèi)調(diào)節(jié)。用 N 2  @ 28 amu 測量,1 amu 全峰寬、10 % 高度、70 eV 電子能量、12 eV 離子能量和 1 mA 電子發(fā)射電流。

分鐘??蓹z測分

   壓5 × 10 -11 托 (FC)。

5 × 10 -14 托 (EM)。

用 N 2  @ 28 amu 測量,1 amu 全峰寬、10 % 高度、70 eV 電子能量、12 eV 離子能量和 1 mA 電子發(fā)射電流。

運(yùn)營壓力10 -4  Torr 到 UHV (FC)

10 -6  Torr 到 UHV (EM)

限度。工作溫度70℃

烘烤溫度300 °C(不帶 ECU)

離子發(fā)生器


設(shè)計(jì)開放式離子源,圓柱對稱,電子碰撞電離。

材料SS304 結(jié)構(gòu)

燈絲具有固件保護(hù)的釷銥(雙)。內(nèi)置1 至 10 W脫氣加速?,F(xiàn)場可更換。

電子能量25 至 105 V,可編程

離子能量8 或 12 V,可編程

聚焦電壓0 至 150 V,可編程

電子發(fā)射電流0 至 3.5 mA,可編程

一般的


探頭尺寸8.75" 從法蘭面到離子發(fā)生器頂部

探頭插入2.0"

探頭安裝法蘭2.75" CF

最小管內(nèi)徑1.375"

ECU尺寸9.1" × 4.1" × 3.1" (WHL)

可輕松與探頭分離以進(jìn)行烘烤。

LED指示燈電源開/關(guān)、燈絲開/關(guān)、脫氣開/關(guān)、電子倍增器開/關(guān)、RS-232 忙、錯(cuò)誤、過壓、燈絲燒毀。

熱身時(shí)間30 分鐘后質(zhì)量穩(wěn)定性 ±0.1 amu

電腦接口RS-232C,28,800 波特,帶高級命令集

軟件基于 Windows 的應(yīng)用程序

電力需求24 VDC @ 2.5 安培。公 DB9 連接器。

可選的 110/120/220/240 VAC 適配器。

重量6 磅。

保修單一年零件和人工材料和工藝缺陷


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