| (1) | 型號(hào) | DM-8000 |
| (2) | 電源 | AC380 V 三相五線制 50Hz, |
| (3) | 微波輸出功率 | 8kW ,2450MHz點(diǎn)頻 |
| (4) | 微波泄露 | ≤2mW/cm3@5cm |
| (5) | 功率穩(wěn)定度 | 1 %(@穩(wěn)態(tài)) |
| (6) | 有效沉積區(qū)域 | up to Φ 70 mm |
| (7) | 樣品臺(tái)直徑 | Φ120 mm |
| (8) | 極限真空度 | ≤5 ×1 0-1 P a |
| (9) | 真空漏率 | <1x10-9Pa.m3/s |
| (10) | 單晶生長(zhǎng) | 生長(zhǎng)速度10-15μm/H,單輪生長(zhǎng)厚度≥1.6mm |
| (11) | 單晶質(zhì)量 | 色度H,肉眼無瑕疵 |
| (12) | 氣體種類 | 標(biāo)配四路MFC:H2:1000sccm,CH4:100sccm,O2:10sccm,N2:5sccm;可擴(kuò)展為5路 |
| (13) | 壓強(qiáng)控制范圍 | 5-255 torr |
| (14) | 壓強(qiáng)控制精度 | ±0 . 1 T o r r |
| (15) | 冷卻水 | >65L/Min |
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- 應(yīng)用范圍
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適合光學(xué)、電子、工具級(jí)金剛石膜或單晶、石墨烯等的沉積,材質(zhì)表面處理、低溫氧化物的生長(zhǎng)等。






























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