深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司專業(yè)維修銷售真空泵,分子泵,半導(dǎo)體激光器,流量計,真空計,AMAT半導(dǎo)體配件
等外延設(shè)備翻新維修
優(yōu)勢
? 基于PTS(Pressure,Temperature,Space)的壓力傳感技術(shù)
? 基于AI的壓力控制技術(shù)
? 全金屬耐腐蝕技術(shù)
? 高準(zhǔn)確度及高可靠性
技術(shù)參數(shù)
| 型號 | PC100 |
| 壓力類型 | 絕壓 |
| 控制壓力的滿量程 | 1000Torr、1200mbar |
| 耐壓 | 3MPa |
| 閥口滿量程流量 | 2、3、5SLM |
| 控制方式 | 上游 |
| 溫度系數(shù) | Zero:±0.02% of F.S./℃;Span:±0.04% of Reading/℃ |
| 壓力分辨率 | 0.1 Torr |
| 壓力控制精度 | ±1.0% of Reading(≥10%FS); ±0.2% of F.S. (<10%FS) |
| 響應(yīng)時間 | < 1.0 S |
| 工作溫度范圍 | 10 ℃ ~ 50 ℃ |
| 機械接口 | 雙卡套 1/4" 、 VCR 1/4" 陽接頭 |
| 閥類型 | 常閉 |
| 外漏 | < 1 x 10-10(scc/sec He) |
| 內(nèi)漏 | < 1.0% of 閥口滿量程流量 (閥關(guān)閉時,進(jìn)氣端為25 psig,出氣端為大氣) |
| 供電電源 | +15 ~ +24 VDC(< 4 watts) |
| 電氣接口 | DB-9針 |

,拍前請聯(lián)系店主,
AMAT 0010-09257 Rev. C 5000 Etch CVD Nitride 4-6" Gas Box
AMAT 0010-09257 Rev. C 5000 Etch CVD Nitride 4-6" Gas Box6
AMAT 0010-09574 Pedestal 125MM Flat New
AMAT 0010-09750W P5000 CVD Etch RF Match Assembly - Working
AMAT 0010-12582-002 PVD Magnet, Serial # 14321
AMAT 0010-13019-001 Side PVD Magnet 300mm Encore Ch



































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