液體流量計UCUF-E系列東京計裝TOKYOKEISO

液體流量計UCUF-E系列東京計裝TOKYOKEISO

液體超聲波流量計UCUF-E系列，UCUF-K系列

產(chǎn)品介紹

UCUF-E系列液體超聲波流量計專為測量超純水和各種化學(xué)液體的小流量而設(shè)計，由UCUF-E型檢測器和SFC型轉(zhuǎn)換器組成。
UCUF 型檢測器的所有接液部件均采用半導(dǎo)體行業(yè)用 PFA 制成，沒有活動部件，也沒有
O 形圈等容易積液的機(jī)械密封。由于其理想的清潔結(jié)構(gòu)，該流量計非常適用于要求高清潔度的過程，例如半導(dǎo)體設(shè)備。
SFC 型轉(zhuǎn)換器極大地降低了流體中含有的氣泡的影響，這曾經(jīng)是半導(dǎo)體工藝、化學(xué)液體工藝等中的一個問題。配備消除流體動力粘度影響的修正功能，支持各種類型的化學(xué)品。通過 RS485 通信功能可以集中控制過程。

特征

EMC標(biāo)準(zhǔn)：EN61326-1:2013/EN61326-2-3:2013

符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

采用帶連接器結(jié)構(gòu)的可拆卸傳感器電纜

測量運動粘度高達(dá) 40 mm2/s 的高粘度流體

指示值±1%以內(nèi)的精度（流速1m/s以上時）

寬量程（100:1 典型值）

具有理想清潔結(jié)構(gòu)的探測器

耐腐蝕且易于安裝

主要用途

半導(dǎo)體制造過程中純水和超純水的流量測量

各種藥液注入工藝的流量測量

強(qiáng)腐蝕性液體的流量測量

CMP 漿料流量測量

其他中小口徑過程液體流量測量

適用于清洗設(shè)備和 CMP 設(shè)備的流量測量和控制

UCUF-K系列液體超聲波流量計是為測量超純水和各種化學(xué)液體的小流量而設(shè)計的，由UCUF-K型檢測器和SFC型轉(zhuǎn)換器組成。UCUF 型檢測器的所有接液部件均采用半導(dǎo)體行業(yè)用 PFA 制成，沒有活動部件，也沒有 O 形圈等容易積液的機(jī)械密封。由于其理想的清潔結(jié)構(gòu)，該流量計非常適用于要求高清潔度的過程，例如半導(dǎo)體設(shè)備。

特征

EMC標(biāo)準(zhǔn)：EN61326-1:2013/EN61326-2-3:2013

符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

測量運動粘度高達(dá) 40 mm2/s 的高粘度流體

指示值±1%以內(nèi)的精度（流速1m/s以上時）

寬量程（100:1 典型值）

具有理想清潔結(jié)構(gòu)的探測器

耐腐蝕且易于安裝

主要用途

半導(dǎo)體制造過程中純水和超純水的流量測量

各種藥液注入工藝的流量測量

強(qiáng)腐蝕性液體的流量測量

CMP 漿料流量測量

其他中小口徑過程液體流量測量

適用于清洗設(shè)備和 CMP 設(shè)備的流量測量和控制