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Mattson刻蝕機(jī)Asher設(shè)備 Aspen 3 Lite

參考價(jià)
面議
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  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時(shí)間2023-04-15
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商
  • 所在地區(qū)青島市
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量441
  • 人氣值18479
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公司主營(yíng)實(shí)驗(yàn)室分析檢測(cè)儀器設(shè)備,以實(shí)驗(yàn)室整體建設(shè)為發(fā)展方向。公司目前涉及電子電器、醫(yī)藥生物、石油化工、食品、機(jī)械、新材料、環(huán)境、科研高校等諸多領(lǐng)域。聯(lián)合山東醫(yī)藥化工設(shè)計(jì)院,美國(guó)安捷倫、美國(guó)熱電、日本島津、江蘇天瑞等眾多品牌及多個(gè)***重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室從實(shí)驗(yàn)室布局設(shè)計(jì)出圖、基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)、儀器設(shè)備供應(yīng)、方法開(kāi)發(fā)建立、后期運(yùn)營(yíng)管理,形成完整的專業(yè)實(shí)驗(yàn)室建設(shè)體系,達(dá)到一站式服務(wù),為眾多行業(yè)客戶提供更為*的整體解決方案。
公司主營(yíng)產(chǎn)品分為四大類(lèi),光譜儀、色譜儀、質(zhì)譜儀和環(huán)境在線檢測(cè)。
能量色散X熒光光譜儀(EDX)、波長(zhǎng)色散X熒光光譜儀(WDX)、等離子體發(fā)射光譜儀(ICP)
、光電直讀光譜儀(OES)、原子吸收分光光度計(jì)(AAS)、原子熒光光譜儀(AFS)、拉曼光譜儀(Raman)、碳硫分析儀(CS)、紅外光譜儀、礦漿載流分析儀(OSA)、氣相色譜儀(GC)、液相色譜儀(LC)、氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀(GC-MS)、液相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀(LC-MS)、電感耦合等離子體質(zhì)譜儀(ICP-MS)、水質(zhì)在線分析儀(WAOL);
 

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AspenIII基于具有接地法拉第屏蔽的專有ICP源設(shè)計(jì),為半導(dǎo)體制造商提供經(jīng)過(guò)生產(chǎn)驗(yàn)證且具有成本效益的剝離和蝕刻解決方案
Mattson刻蝕機(jī)Asher設(shè)備 Aspen 3 Lite 產(chǎn)品詳情

Aspen III 基于具有接地法拉第屏蔽的專有 ICP 源設(shè)計(jì),為半導(dǎo)體制造商提供經(jīng)過(guò)生產(chǎn)驗(yàn)證且具有成本效益的剝離和蝕刻解決方案。Aspen III 的平臺(tái)設(shè)計(jì)可處理 200 毫米和 300 毫米晶圓,并支持特殊晶圓處理,包括翹曲和半透明晶圓。的工藝室架構(gòu)可以滿足業(yè)內(nèi)的設(shè)備制造商跨多個(gè)技術(shù)節(jié)點(diǎn)的技術(shù)要求。

產(chǎn)品特點(diǎn):

  • 平臺(tái)
    • 200 mm / 300 mm 橋接工具
    • 玻璃/石英/半透明晶圓處理
    • 翹曲 (> 5 mm) 晶圓處理
    • 雙晶圓室設(shè)計(jì),獨(dú)立晶圓控制
    • 單或雙工藝室選項(xiàng)
    • 高速機(jī)器人
    • 真空負(fù)載鎖
    • 安裝了 500 多個(gè)系統(tǒng)
  • ICP HT  / Strip 處理室
    • 專有法拉第屏蔽ICP源
    • 還原和氟化學(xué)能力
    • 耗材成本低
  • LiteEtch 工藝室
    • 高濃度氟工藝的各向同性蝕刻
    • 耐氟室設(shè)計(jì)
  •  eHighlands 蝕刻和剝離工藝室
    • 偏置能力
    • 低溫(10°C 至 80°C)能力
    • 低壓(5 mT 至 300 mT)能力

過(guò)程:

  • 塊狀光刻膠條
  • 離子注入后光刻膠去除
  • 表面處理
  • 表面殘留物去除
  • 聚酰亞胺返修/處理
  • 光刻返工
  • 表面鈍化
  • SiN / SiC 勢(shì)壘刻蝕
  • 抗蝕劑/BARC 回蝕

應(yīng)用:

  • 存儲(chǔ)設(shè)備制造
  • 邏輯器件制造
  • LED制造
  • CMOS傳感器制造
  • 功率集成電路制造
  • MEMS制造
  • 傳感器制造
  • 晶圓級(jí)封裝
  • 光電制造
  • 模擬/混合信號(hào)設(shè)備制造
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