設(shè)備名稱(chēng)：高溫高真空退火爐CSL—2000X-HV

結(jié)構(gòu)特點(diǎn)：•采用SS304不銹鋼真空腔體，尺寸：凈666mm×560mm H

•底部樣品臺(tái)電動(dòng)升降，裝卸樣方便快捷

•真空度：10-6Torr

•工作溫度：2000℃

基本參數(shù)  ·電源：AC380V 50/60HZ

•功率：22 KW

•加熱元件：石墨

•加熱空間尺寸 220× 280mm H

•理想放樣空間尺寸；中180mm×160mm H

•加熱元件工作溫度： 2000℃

?升溫速率：室溫-1000℃≤15℃/min，1000-1600℃≤10℃/min，1600-2000℃≤8℃/min;

溫控系統(tǒng)：•PLC+人機(jī)界面控制

•C型熱電偶進(jìn)行測(cè)溫和控制

•PID控制

•具有超溫及斷偶報(bào)警功能

•控溫精度：±1℃

•可安裝PC控制軟件對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行實(shí)時(shí)采集（選配)

控制系統(tǒng)：設(shè)備的抽真空，加熱等操作全部在電腦上運(yùn)行

真空度：  •冷態(tài)下可達(dá)到的真空度（真空泵另購(gòu)）：

8*10-6Torr （采用分子泵機(jī)組，配套抽真空口CF160接口)

5*10-2Torr（采用機(jī)械泵機(jī)組，配套抽真空接口KF40接口)

機(jī)械泵（選配）： •型號(hào)：VRD-48

•抽氣口接口尺寸：KF40

•抽氣速率：（48m3/h）13.3L/S

•電機(jī)功率：1500 W

•極限壓強(qiáng)4×10-2 pa

分子泵（選配）： •抽氣速率：700L/s

•極限壓強(qiáng)：6×10-6 Pa

•啟動(dòng)時(shí)間：≤9min

•額定轉(zhuǎn)速：36000rpm/min

•冷卻方式：水冷

•抽氣口接口尺寸：CF160

水冷設(shè)備（選配）：型號(hào)：CT-6300

•輸入電壓：220-240V 50HZ

•水箱容量：45L

•水流量：70L/min

氣路系統(tǒng)（選配）：•真空腔室預(yù)留一個(gè)抽真空KF40抽真空接口，預(yù)留一個(gè)手動(dòng)排氣口（通空氣），預(yù)留             18 個(gè)進(jìn)氣和出氣孔，上、中、下各分布6個(gè)氣孔。同時(shí)在進(jìn)氣和出氣端共配置3個(gè)電             磁閥，可以通過(guò)控制面板控制電磁閥的通斷,同時(shí)電磁閥出口處安裝卡套接                   頭，方便客戶(hù)自己手動(dòng)安裝電磁閥和腔體預(yù)留18個(gè)進(jìn)氣孔之間的連接方式。

•其中在一路進(jìn)氣端安裝有一個(gè)單向閥門(mén)。

設(shè)備外型尺寸：1850mm*1000mm*2080mm*(長(zhǎng)寬高）

重量：        約620kg

注意事項(xiàng)：由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向腔室內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安           全，建議使用壓力低于0.02MPa,

建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全；

對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)；不建議關(guān)閉法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，

若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等)

我們不建議客戶(hù)使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶(hù)工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體，

請(qǐng)客戶(hù)自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問(wèn)題，本公司概不負(fù)責(zé)。

降溫時(shí)請(qǐng)利用程序降溫，不建議直接降溫，設(shè)備溫度在100℃以上時(shí)不要直接關(guān)掉水冷設(shè)備電源，防止出現(xiàn)安全問(wèn)題