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上海添時科學儀器有限公司是一家代理國內外品牌儀器的經銷及技術服務的專業(yè)公司。

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全自動清洗機適用于2至6英寸晶圓的清洗工藝6寸以下wafer全自動清洗工藝處理適合產能要求較高的批量產線可選配MES協(xié)議轉換模塊

全自動清洗機產品詳情

全自動清洗機

清洗機，用于沖洗過濾液壓系統(tǒng)在制造、裝配、使用過程及維護時生成或侵入的污染物；也可以適用于對工作油液的定期維護過濾，提高清潔度，避免或減少因污染而造成的故障，從而保證液壓系統(tǒng)設備的高性能、高可靠度和長壽命。

產品介紹
適用于2至6英寸晶圓的清洗工藝
6寸以下wafer全自動清洗工藝處理
適合產能要求較高的批量產線
可選配MES協(xié)議轉換模塊

產品參數

設備配置:4套清洗單元
旋轉速度范圍:20-5000rpm
加速度范圍:20-5000rpm/s
清洗噴嘴類型:NANO Spray
配置CO2除靜電系統(tǒng)、等離子靜電消除器等
流量控制:浮子式流量計(可選超聲波流量計)
設備尺寸:1860mm(W)x1700mm(D)x2100mm(H)

關鍵詞：清洗機靜電消除超聲波流量計

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