日立儀器基于Windows^TM 的軟件SmartLinka，直觀、簡單，使用戶的生產效率化：

界面主要部分：

§ A) 待測樣品放大的圖像

§ B) 清晰的測試結果顯示：可選擇標準或大字符

§ C) X射線波譜，顯示樣品中主要元素

§ D) “Stop/Go” 一鍵測量

日立儀器基于Windows^TM的SmartLinka FP軟件：

§ 基本參數(shù)法可不需或只需很少數(shù)量的標樣。

§ 儀器預裝了超過800種應用參數(shù)/方法，便于建立測試程序和日常操作。

§ 直觀的步驟，可在幾分鐘內建立新方法。

§ 如有結構匹配的標樣，基于FP方法的校正程序可提供可信的定量分析結果。

§ 如沒有結構匹配的標樣，可建立一個純理論的校正程序。

§ 如有全套標樣，“經驗式的”感興趣區(qū)域（ROI）校正方法可以實現(xiàn)的準確度。

基本參數(shù)法可以快速、準確第測量鍍層厚度和材料成分分析：

§ 基于FP的校準覆蓋廣泛的厚度范圍包括復雜的多層應用。

§ 基于FP的校準液覆蓋廣泛的材料。這對包含大量非常規(guī)任務的工作特別有用。

§ 當有限標樣時，基于FP的校準程序提供了可靠的定量分析的手段。

§ 當沒有標樣時，可建立純理論的校準程序進行半定量分析。

§ 只需對日立儀器提供的波譜校準（Spec-Cal）標樣進行簡單、快速的測量，即可檢測儀器的性能，即靈敏度和檢測器的分辨率。測量結束時，儀器自動完成校準，保證儀器長期穩(wěn)定性。

§ 自動熱補償功能持續(xù)測量儀器的溫度并做修正，保證短期和長期的數(shù)據穩(wěn)定性。

§ 快速、簡單的定性分析

§ 清晰、簡單、可視的元素標識和驗證

§ 清晰、圖形化顯示出選定X射線能量區(qū)域（keV或通道）在一次測量中錄得的信號計數(shù)（強度）。

§ 波譜和感興趣區(qū)域強度在測量時實時顯示。

§ 用戶可以將感興趣區(qū)域的波譜強度導出、打印、保存、恢復，以及將波譜保存成文本格式以轉換至數(shù)據表作具體研究。

§ 可根據客戶的具體要求打印定制報告，如：用戶可使用預置模板或自制報告模板，并一鍵實現(xiàn)報告打印。