? 13.56MHz射頻電源與自動(dòng)匹配系統(tǒng)，具有優(yōu)異的穩(wěn)定性與可重復(fù)性

? 靈活的電極結(jié)構(gòu)設(shè)置與優(yōu)化的氣體饋入、分布方案，確保大批量處理的均勻性

? PLC與工控機(jī)提供穩(wěn)定的過程控制，設(shè)備運(yùn)行的實(shí)時(shí)參數(shù)通過顯示屏直觀呈現(xiàn)

? 系統(tǒng)穩(wěn)定可靠，易于保養(yǎng)與維護(hù)

標(biāo)準(zhǔn)腔體電極為平行板電極結(jié)構(gòu)，通過改變電極配置(RF電極、地電極、懸浮電極等)可以獲得不同的工藝效果

最多支持?jǐn)U展至8片電極

每對電極間為獨(dú)立空間

批處理電極改變了標(biāo)準(zhǔn)的平行板電極結(jié)構(gòu)

通過優(yōu)化的電場和進(jìn)氣設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)對magazi和boat等載具內(nèi)產(chǎn)品的均勻處理。

? 表面清潔與活化

? 表面有機(jī)污染物與金屬氧化物的去除

? 增強(qiáng)表面膠體流動(dòng)性，消除涂層分層

? 提升表面能，實(shí)現(xiàn)難粘材料的有效結(jié)合

? 表面粗化及微刻蝕

? 納米級表面粗化，應(yīng)力釋放

? 光刻膠、殘膠的去除

? 對多種材料的選擇性刻蝕